Obleas de carburo de silicio SiC de 6 polgadas e 150 mm, tipo 4H-N, para investigación de produción MOS ou SBD e grao ficticio
Campos de aplicación
O substrato monocristal de carburo de silicio de 6 polgadas desempeña un papel crucial en múltiples industrias. En primeiro lugar, úsase amplamente na industria dos semicondutores para a fabricación de dispositivos electrónicos de alta potencia, como transistores de potencia, circuítos integrados e módulos de potencia. A súa alta condutividade térmica e a súa resistencia a altas temperaturas permiten unha mellor disipación da calor, o que resulta nunha mellora da eficiencia e a fiabilidade. En segundo lugar, as obleas de carburo de silicio son esenciais nos campos de investigación para o desenvolvemento de novos materiais e dispositivos. Ademais, a oblea de carburo de silicio atopa amplas aplicacións no campo da optoelectrónica, incluída a fabricación de LED e díodos láser.
Especificacións do produto
O substrato monocristal de carburo de silicio de 6 polgadas ten un diámetro de 6 polgadas (aproximadamente 152,4 mm). A rugosidade superficial é Ra < 0,5 nm e o grosor é de 600 ± 25 μm. O substrato pódese personalizar con condutividade de tipo N ou de tipo P, segundo os requisitos do cliente. Ademais, presenta unha estabilidade mecánica excepcional, capaz de soportar presión e vibracións.
Diámetro | 150 ± 2,0 mm (6 polgadas) | ||||
Espesor | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientación | No eixo: <0001>±0,5° | Fóra do eixe: 4,0° cara a 1120±0,5° | |||
Politipo | 4H | ||||
Resistividade (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Orientación plana primaria | {10-10}±5,0° | ||||
Lonxitude plana primaria (mm) | 47,5 mm ± 2,5 mm | ||||
Bordo | Chaflán | ||||
TTV/Arco/Deformación (um) | ≤15 / ≤40 / ≤60 | ||||
AFM Frontal (Si-face) | Ra ≤1 nm para o pulido | ||||
CMP Ra≤0,5 nm | |||||
LTV | ≤3 μm (10 mm * 10 mm) | ≤5 μm (10 mm * 10 mm) | ≤10 μm (10 mm * 10 mm) | ||
TVG | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm | ||
Pel de laranxa/ósos/fendas/contaminación/manchas/estrías | Ningún | Ningún | Ningún | ||
sangrías | Ningún | Ningún | Ningún |
O substrato monocristalino de carburo de silicio de 6 polgadas é un material de alto rendemento amplamente utilizado nas industrias de semicondutores, investigación e optoelectrónica. Ofrece unha excelente condutividade térmica, estabilidade mecánica e resistencia a altas temperaturas, o que o fai axeitado para a fabricación de dispositivos electrónicos de alta potencia e a investigación de novos materiais. Ofrecemos varias especificacións e opcións de personalización para satisfacer as diversas demandas dos clientes.Contacta connosco para obter máis detalles sobre as obleas de carburo de silicio!
Diagrama detallado

