8 polgadas 200 mm 4H-N SiC oblea condutor grado de investigación

Descrición curta:

A medida que evolucionan os mercados de transporte, enerxía e industria, a demanda de electrónica de potencia fiable e de alto rendemento segue crecendo.Para satisfacer as necesidades de mellora do rendemento dos semicondutores, os fabricantes de dispositivos buscan materiais semicondutores de banda ampla, como a nosa carteira 4H SiC Prime Grade de obleas de carburo de silicio (SiC) de tipo n 4H.


Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Debido ás súas propiedades físicas e electrónicas únicas, o material semicondutor de obleas de SiC de 200 mm úsase para crear dispositivos electrónicos de alto rendemento, altas temperaturas, resistentes á radiación e de alta frecuencia.O prezo do substrato SiC de 8 polgadas está a diminuír gradualmente a medida que a tecnoloxía se fai máis avanzada e a demanda crece.Os desenvolvementos tecnolóxicos recentes conducen á fabricación a escala de produción de obleas de SiC de 200 mm.As principais vantaxes dos materiais semicondutores de obleas de SiC en comparación coas obleas de Si e GaAs: a intensidade do campo eléctrico de 4H-SiC durante a descomposición da avalancha é máis dunha orde de magnitude superior aos valores correspondentes para Si e GaAs.Isto leva a unha diminución significativa da resistividade no estado Ron.A baixa resistividade no estado, combinada cunha alta densidade de corrente e condutividade térmica, permite o uso de matrices moi pequenas para dispositivos de potencia.A alta condutividade térmica do SiC reduce a resistencia térmica do chip.As propiedades electrónicas dos dispositivos baseados en obleas de SiC son moi estables ao longo do tempo e a temperatura estable, o que garante unha alta fiabilidade dos produtos.O carburo de silicio é extremadamente resistente á radiación dura, que non degrada as propiedades electrónicas do chip.A alta temperatura límite de funcionamento do cristal (máis de 6000C) permítelle crear dispositivos altamente fiables para condicións de funcionamento duras e aplicacións especiais.Actualmente, podemos fornecer obleas de 200 mmSiC en pequeno lote de forma constante e continua e ter algo de stock no almacén.

Especificación

Número Elemento Unidade Produción Investigación Maniquí
1. Parámetros
1.1 politipo -- 4H 4H 4H
1.2 orientación superficial ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Parámetro eléctrico
2.1 dopante -- Nitróxeno tipo n Nitróxeno tipo n Nitróxeno tipo n
2.2 resistividade ohm · cm 0,015~0,025 0,01 ~ 0,03 NA
3. Parámetro mecánico
3.1 diámetro mm 200 ± 0,2 200 ± 0,2 200 ± 0,2
3.2 espesor μm 500 ± 25 500 ± 25 500 ± 25
3.3 Orientación da muesca ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Profundidade da muesca mm 1~1.5 1~1.5 1~1.5
3.5 LTV μm ≤5 (10mm*10mm) ≤5 (10mm*10mm) ≤10 (10mm*10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Proa μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Deformación μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Estrutura
4.1 densidade de microtubos ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 contido de metal átomos/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD ea/cm2 ≤ 2000 ≤5000 NA
4.5 TED ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Calidade positiva
5.1 diante -- Si Si Si
5.2 acabado superficial -- CMP Si-face CMP Si-face CMP Si-face
5.3 partícula ea/oblea ≤ 100 (tamaño ≥ 0,3 μm) NA NA
5.4 rascar ea/oblea ≤5,Lonxitude total ≤200mm NA NA
5.5 Borde
lascas / sangrías / fisuras / manchas / contaminación
-- Ningún Ningún NA
5.6 Áreas politípicas -- Ningún Área ≤ 10 % Área ≤ 30 %
5.7 sinalización frontal -- Ningún Ningún Ningún
6. Calidade traseira
6.1 acabado traseiro -- MP cara C MP cara C MP cara C
6.2 rascar mm NA NA NA
6.3 Borde de defectos traseiros
fichas/sangrías
-- Ningún Ningún NA
6.4 Rugosidade nas costas nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Marcación traseira -- Muesca Muesca Muesca
7. Borde
7.1 bordo -- Chaflán Chaflán Chaflán
8. Paquete
8.1 embalaxe -- Epi-listo con baleiro
embalaxe
Epi-listo con baleiro
embalaxe
Epi-listo con baleiro
embalaxe
8.2 embalaxe -- Multi-oblea
embalaxe de casete
Multi-oblea
embalaxe de casete
Multi-oblea
embalaxe de casete

Diagrama detallado

8 polgadas SiC03
8 polgadas SiC4
8 polgadas SiC5
8 polgadas SiC6

  • Anterior:
  • Seguinte:

  • Escribe aquí a túa mensaxe e envíanolo