Oblea condutiva de SiC 4H-N de 8 polgadas e 200 mm, grao de investigación ficticia
Debido ás súas propiedades físicas e electrónicas únicas, o material semicondutor de obleas de SiC de 200 mm utilízase para crear dispositivos electrónicos de alto rendemento, alta temperatura, resistentes á radiación e alta frecuencia. O prezo do substrato de SiC de 8 polgadas está a diminuír gradualmente a medida que a tecnoloxía avanza e a demanda medra. Os desenvolvementos tecnolóxicos recentes levan á fabricación a escala de produción de obleas de SiC de 200 mm. As principais vantaxes dos materiais semicondutores de obleas de SiC en comparación coas obleas de Si e GaAs: a intensidade do campo eléctrico do 4H-SiC durante a ruptura por avalancha é máis dunha orde de magnitude superior aos valores correspondentes para Si e GaAs. Isto leva a unha diminución significativa da resistividade Ron no estado de activación. A baixa resistividade no estado de activación, combinada cunha alta densidade de corrente e condutividade térmica, permite o uso de matrices moi pequenas para dispositivos de alimentación. A alta condutividade térmica do SiC reduce a resistencia térmica do chip. As propiedades electrónicas dos dispositivos baseados en obleas de SiC son moi estables ao longo do tempo e estables na temperatura, o que garante unha alta fiabilidade dos produtos. O carburo de silicio é extremadamente resistente á radiación dura, o que non degrada as propiedades electrónicas do chip. A alta temperatura límite de funcionamento do cristal (máis de 6000 °C) permite crear dispositivos altamente fiables para condicións de funcionamento adversas e aplicacións especiais. Na actualidade, podemos subministrar obleas de SiC de 200 mm en lotes pequenos de forma constante e continua, e temos algunhas existencias no almacén.
Especificación
Número | Elemento | Unidade | Produción | Investigación | Boneco |
1. Parámetros | |||||
1.1 | politipo | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | orientación da superficie | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
2. Parámetro eléctrico | |||||
2.1 | dopante | -- | nitróxeno de tipo n | nitróxeno de tipo n | nitróxeno de tipo n |
2.2 | resistividade | ohmio ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
3. Parámetro mecánico | |||||
3.1 | diámetro | mm | 200 ± 0,2 | 200 ± 0,2 | 200 ± 0,2 |
3.2 | grosor | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
3.3 | Orientación da muesca | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
3.4 | Profundidade da entalla | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
3.5 | Valor do cliente (LTV) | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
3.6 | TVG | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
3.7 | Arco | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
3.8 | Deformación | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
4. Estrutura | |||||
4.1 | densidade de microtubos | cada un/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
4.2 | contido de metais | átomos/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
4.3 | TSD | cada un/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
4.4 | TLP | cada un/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
4.5 | TED | cada un/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
5. Calidade positiva | |||||
5.1 | fronte | -- | Si | Si | Si |
5.2 | acabado superficial | -- | CMP de cara Si | CMP de cara Si | CMP de cara Si |
5.3 | partícula | oblea | ≤100 (tamaño ≥0,3 μm) | NA | NA |
5.4 | rabuñar | oblea | ≤5, lonxitude total ≤200 mm | NA | NA |
5.5 | Bordo lascas/afundimentos/fendas/manchas/contaminación | -- | Ningún | Ningún | NA |
5.6 | Áreas de politipo | -- | Ningún | Área ≤10% | Área ≤30% |
5.7 | marcaxe frontal | -- | Ningún | Ningún | Ningún |
6. Calidade do lombo | |||||
6.1 | acabado traseiro | -- | MP de cara C | MP de cara C | MP de cara C |
6.2 | rabuñar | mm | NA | NA | NA |
6.3 | Defectos do bordo traseiro lascas/sangas | -- | Ningún | Ningún | NA |
6.4 | Rugosidade da parte traseira | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
6,5 | Marcado traseiro | -- | Muesca | Muesca | Muesca |
7. Borde | |||||
7.1 | bordo | -- | Chaflán | Chaflán | Chaflán |
8. Paquete | |||||
8.1 | embalaxe | -- | Epi-ready con baleiro embalaxe | Epi-ready con baleiro embalaxe | Epi-ready con baleiro embalaxe |
8.2 | embalaxe | -- | Multi-oblea envasado de casete | Multi-oblea envasado de casete | Multi-oblea envasado de casete |
Diagrama detallado



