Oblea condutiva de SiC 4H-N de 8 polgadas e 200 mm, grao de investigación ficticia

Descrición curta:

A medida que os mercados de transporte, enerxía e industriais evolucionan, a demanda de electrónica de potencia fiable e de alto rendemento continúa a medrar. Para satisfacer as necesidades de mellorar o rendemento dos semicondutores, os fabricantes de dispositivos están a buscar materiais semicondutores de banda prohibida ampla, como a nosa carteira de obleas de carburo de silicio (SiC) de tipo n 4H SiC Prime Grade.


Características

Debido ás súas propiedades físicas e electrónicas únicas, o material semicondutor de obleas de SiC de 200 mm utilízase para crear dispositivos electrónicos de alto rendemento, alta temperatura, resistentes á radiación e alta frecuencia. O prezo do substrato de SiC de 8 polgadas está a diminuír gradualmente a medida que a tecnoloxía avanza e a demanda medra. Os desenvolvementos tecnolóxicos recentes levan á fabricación a escala de produción de obleas de SiC de 200 mm. As principais vantaxes dos materiais semicondutores de obleas de SiC en comparación coas obleas de Si e GaAs: a intensidade do campo eléctrico do 4H-SiC durante a ruptura por avalancha é máis dunha orde de magnitude superior aos valores correspondentes para Si e GaAs. Isto leva a unha diminución significativa da resistividade Ron no estado de activación. A baixa resistividade no estado de activación, combinada cunha alta densidade de corrente e condutividade térmica, permite o uso de matrices moi pequenas para dispositivos de alimentación. A alta condutividade térmica do SiC reduce a resistencia térmica do chip. As propiedades electrónicas dos dispositivos baseados en obleas de SiC son moi estables ao longo do tempo e estables na temperatura, o que garante unha alta fiabilidade dos produtos. O carburo de silicio é extremadamente resistente á radiación dura, o que non degrada as propiedades electrónicas do chip. A alta temperatura límite de funcionamento do cristal (máis de 6000 °C) permite crear dispositivos altamente fiables para condicións de funcionamento adversas e aplicacións especiais. Na actualidade, podemos subministrar obleas de SiC de 200 mm en lotes pequenos de forma constante e continua, e temos algunhas existencias no almacén.

Especificación

Número Elemento Unidade Produción Investigación Boneco
1. Parámetros
1.1 politipo -- 4H 4H 4H
1.2 orientación da superficie ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Parámetro eléctrico
2.1 dopante -- nitróxeno de tipo n nitróxeno de tipo n nitróxeno de tipo n
2.2 resistividade ohmio ·cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Parámetro mecánico
3.1 diámetro mm 200 ± 0,2 200 ± 0,2 200 ± 0,2
3.2 grosor μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Orientación da muesca ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Profundidade da entalla mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 Valor do cliente (LTV) μm ≤5 (10 mm * 10 mm) ≤5 (10 mm * 10 mm) ≤10 (10 mm * 10 mm)
3.6 TVG μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Arco μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Deformación μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Estrutura
4.1 densidade de microtubos cada un/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 contido de metais átomos/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD cada un/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 TLP cada un/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED cada un/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Calidade positiva
5.1 fronte -- Si Si Si
5.2 acabado superficial -- CMP de cara Si CMP de cara Si CMP de cara Si
5.3 partícula oblea ≤100 (tamaño ≥0,3 μm) NA NA
5.4 rabuñar oblea ≤5, lonxitude total ≤200 mm NA NA
5.5 Bordo
lascas/afundimentos/fendas/manchas/contaminación
-- Ningún Ningún NA
5.6 Áreas de politipo -- Ningún Área ≤10% Área ≤30%
5.7 marcaxe frontal -- Ningún Ningún Ningún
6. Calidade do lombo
6.1 acabado traseiro -- MP de cara C MP de cara C MP de cara C
6.2 rabuñar mm NA NA NA
6.3 Defectos do bordo traseiro
lascas/sangas
-- Ningún Ningún NA
6.4 Rugosidade da parte traseira nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6,5 Marcado traseiro -- Muesca Muesca Muesca
7. Borde
7.1 bordo -- Chaflán Chaflán Chaflán
8. Paquete
8.1 embalaxe -- Epi-ready con baleiro
embalaxe
Epi-ready con baleiro
embalaxe
Epi-ready con baleiro
embalaxe
8.2 embalaxe -- Multi-oblea
envasado de casete
Multi-oblea
envasado de casete
Multi-oblea
envasado de casete

Diagrama detallado

8 polgadas de SiC03
SiC4 de 8 polgadas
SiC5 de 8 polgadas
SiC6 de 8 polgadas

  • Anterior:
  • Seguinte:

  • Escribe aquí a túa mensaxe e envíanosla