Oblea de silicio tipo N ou tipo P de 6 polgadas Oblea CZ Si
Introdución da caixa de obleas
Especificacións da oblea de silicio:
Crecemento de obleas de silicio de 6 polgadas: CZ, MCZ, FZ.
6 Grao de oblea de silicio: Prime, Test, Dummy, etc
Oblea de silicona de 6 polgadas Diámetro: 6 polgadas/150 mm.
Espesor da oblea de silicio de 6 polgadas: 200 ~ 3000um.
Acabado de oblea de silicio de 6 polgadas: como cortado, lapeado, gravado, SSP, DSP, etc.
Oblea de silicio de 6 polgadas Orientación: (100) (111) (110) (531) (553) etc.
Oblea de silicona de 6 polgadas de corte: ata 4 graos.
Tipo de oblea de silicio de 6 polgadas/Dopante: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Intrínseco.
Oblea de silicio de 6 polgadas Resistividad: CZ/MCZ: De 0,001 a 1000 ohm-cm. FZ: ata 20k ohm-cm.
Oblea de silicio de 6 polgadas Películas finas: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. etc., espesores de revestimento de ata 20.000 A/5%.
(b) LPCVD/PECVD: óxido, nitruro, siC, etc., espesores de revestimento ata 200.000 A/3%.
(c) Obleas epitaxiais de silicio e servizos epitaxiais (SOS, GaN, GOI, etc.).
Oblea de silicio de 6 polgadas Procesos: a.DSP, ultrafino, ultraplano, etc.
b.Reducción de tamaño, moela traseira, corte en dados, etc. MEMS.
Desde 2010, Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd comprometeuse a ofrecer aos clientes solucións completas de obleas de silicio de 4 polgadas, desde obleas de nivel de depuración Dummy Wafer, obleas de proba de proba ata obleas de nivel de produto Prime Wafer, así como obleas especiais, obleas de óxido de óxido, Obleas de nitruro Si3N4, Obleas de aluminio, Obleas de silicio con cobre, Obleas SOI, MEMS Vidro, obleas ultra grosas e ultraplanas personalizadas, etc., con tamaños que van desde 50 mm a 300 mm, e podemos proporcionar obleas de semicondutores con pulido, adelgazamento, corte en dados, MEMS e outros servizos de procesamento e personalización dunha/doubre cara. .