Mandril cerámico de carburo de silicio para obleas de SiC zafiro Si GAA

Mandril cerámico de carburo de silicio para oblea de SiC zafiro Si GAA Imaxe destacada

Descrición curta:

O mandril cerámico de carburo de silicio é unha plataforma de alto rendemento deseñada para a inspección de semicondutores, a fabricación de obleas e as aplicacións de unión. Construído con materiais cerámicos avanzados, incluíndo SiC sinterizado (SSiC), SiC unido por reacción (RSiC), nitruro de silicio e nitruro de aluminio, ofrece alta rixidez, baixa expansión térmica, excelente resistencia ao desgaste e longa vida útil.

Envíanos un correo electrónico

Características

Diagrama detallado

Visión xeral do mandril cerámico de carburo de silicio (SiC)

O/AMandril cerámico de carburo de silicioé unha plataforma de alto rendemento deseñada para a inspección de semicondutores, a fabricación de obleas e as aplicacións de unión. Construída con materiais cerámicos avanzados, incluíndoSiC sinterizado (SSiC), SiC unido por reacción (RSiC), nitruro de silicio, enitruro de aluminio—ofrecealta rixidez, baixa expansión térmica, excelente resistencia ao desgaste e longa vida útil.

Con enxeñaría de precisión e pulido de última xeración, o mandril ofreceplanitude submicrónica, superficies de calidade especular e estabilidade dimensional a longo prazo, o que a converte na solución ideal para procesos críticos de semicondutores.

Vantaxes principais

Alta precisión
Planitude controlada dentro0,3–0,5 μm, garantindo a estabilidade da oblea e a precisión consistente do proceso.
Pulido de espellos
ConsigueRa 0,02 μmrugosidade superficial, minimizando os arañazos e a contaminación das obleas: perfecto para entornos ultralimpos.
Ultralixeiro
Máis forte pero máis lixeiro que os substratos de cuarzo ou metal, mellorando o control do movemento, a capacidade de resposta e a precisión do posicionamento.
Alta rixidez
O excepcional módulo de Young garante a estabilidade dimensional baixo cargas pesadas e funcionamento a alta velocidade.
baixa expansión térmica
O CTE é moi semellante ás obleas de silicio, o que reduce a tensión térmica e mellora a fiabilidade do proceso.
Resistencia ao desgaste excepcional
A dureza extrema preserva a planitude e a precisión mesmo baixo un uso a longo prazo e de alta frecuencia.

Proceso de fabricación

Preparación de materias primas
Pós de SiC de alta pureza con tamaño de partícula controlado e impurezas ultrabaixas.
Conformación e sinterización
Técnicas comosinterización sen presión (SSiC) or enlace por reacción (RSiC)producir substratos cerámicos densos e uniformes.
Mecanizado de precisión
O rectificado CNC, o recorte láser e o mecanizado de ultraprecisión conseguen unha tolerancia de ±0,01 mm e un paralelismo de ≤3 μm.
Tratamento de superficies
Rectificado e pulido multietapa ata Ra 0,02 μm; revestimentos opcionais dispoñibles para resistencia á corrosión ou propiedades de fricción personalizadas.
Inspección e control de calidade
Os interferómetros e os rugosímetros verifican o cumprimento das especificacións de grao de semicondutores.

Especificacións técnicas

Parámetro	Valor	Unidade
Planitude	≤0,5	μm
Tamaños das obleas	6'', 8'', 12'' (personalizado dispoñible)	—
Tipo de superficie	Tipo de pin / Tipo de anel	—
Altura do pasador	0,05–0,2	mm
Diámetro mínimo do pasador	ϕ0,2	mm
Espazo mínimo dos pinos	3	mm
Largura mínima do anel de selado	0,7	mm
Rugosidade da superficie	Ra 0,02	μm
Tolerancia de espesor	±0,01	mm
Tolerancia de diámetro	±0,01	mm
Tolerancia de paralelismo	≤3	μm

Principais aplicacións

Equipos de inspección de obleas de semicondutores
Sistemas de fabricación e transferencia de obleas
Ferramentas de unión e empaquetado de obleas
Fabricación de dispositivos optoelectrónicos avanzados
Instrumentos de precisión que requiren superficies ultraplanas e ultralimpas

Preguntas e respostas: mandril cerámico de carburo de silicio

P1: En que se comparan os mandriles cerámicos de SiC cos mandriles de cuarzo ou metal?
R1: Os mandriles de SiC son máis lixeiros, máis ríxidos e teñen un CTE próximo ao das obleas de silicio, o que minimiza a deformación térmica. Tamén ofrecen unha resistencia ao desgaste superior e unha vida útil máis longa.

P2: Que planitude se pode conseguir?
A2: Controlado dentro0,3–0,5 μm, cumprindo as esixentes esixencias da produción de semicondutores.

P3: A superficie raiará as obleas?
A3: Non, pulido en espello paraRa 0,02 μm, garantindo unha manipulación sen arañazos e unha xeración reducida de partículas.

P4: Que tamaños de oblea son compatibles?
A4: Tamaños estándar de6'', 8'' e 12'', con opción de personalización.

P5: Como é a resistencia térmica?
A5: As cerámicas de SiC ofrecen un excelente rendemento a altas temperaturas cunha deformación mínima baixo ciclos térmicos.

Sobre nós

XKH especialízase no desenvolvemento, produción e venda de alta tecnoloxía de vidro óptico especial e novos materiais de cristal. Os nosos produtos utilízanse para electrónica óptica, electrónica de consumo e o ámbito militar. Ofrecemos compoñentes ópticos de zafiro, cubertas para lentes de teléfonos móbiles, cerámica, LT, carburo de silicio SIC, cuarzo e obleas de cristal semicondutor. Con experiencia cualificada e equipos de vangarda, destacamos no procesamento de produtos non estándar, co obxectivo de ser unha empresa líder en materiais optoelectrónicos de alta tecnoloxía.