Índice
1. Visión xeral e funcións principais da FOUP
2. Estrutura e características de deseño da FOUP
3. Clasificación e directrices de aplicación da FOUP
4. Operacións e importancia da FOUP na fabricación de semicondutores
5. Desafíos técnicos e tendencias de desenvolvemento futuro
6. Solucións personalizadas e soporte de servizo de XKH
No proceso de fabricación de semicondutores, o Front Opening Unified Pod (FOUP) é un contedor fundamental que se emprega para protexer, transportar e almacenar obleas. O seu interior pode albergar 25 pezas de obleas de 300 mm e os seus compoñentes principais inclúen un contedor de apertura frontal e un marco de porta específico para a súa apertura e peche. O FOUP é un portador de núcleos no sistema de transporte automatizado dentro das fábricas de obleas de 12 polgadas. Normalmente transpórtase nun estado pechado e só se abre cando se empurra cara ao porto de carga do equipo, o que permite transferir as obleas ao porto de carga/descarga do equipo.
O deseño da FOUP está adaptado aos requisitos do microambiente. Presenta ranuras na parte traseira para a inserción de obleas e a tapa está deseñada especificamente para coincidir coa abrazadera do abridor. Os robots de manipulación de obleas funcionan nun ambiente de aire limpo de Clase 1, o que garante que as obleas non se contaminen durante a transmisión. Ademais, a FOUP móvese entre as ferramentas de proceso mediante un sistema automatizado de manipulación de materiais (AMHS). As fábricas de obleas modernas usan principalmente sistemas ferroviarios aéreos para o transporte, mentres que algunhas fábricas máis antigas poden usar vehículos guiados automatizados (AGV) terrestres.
A FOUP non só permite a transferencia automatizada de obleas, senón que tamén cumpre unha función de almacenamento. Debido aos numerosos pasos de fabricación, as obleas poden tardar meses en completar todo o fluxo do proceso. Combinado cos altos volumes de produción mensual, isto significa que decenas de miles de obleas dentro dunha fábrica están constantemente en tránsito ou almacenadas temporalmente en calquera momento. Durante o almacenamento, as FOUP purgan periodicamente con nitróxeno para evitar que os contaminantes entren en contacto coas obleas, garantindo un proceso de produción limpo e fiable.
1. Funcións e importancia da FOUP
A función principal da FOUP é protexer as obleas de golpes e contaminación externos, evitando especialmente impactos no rendemento durante a transferencia. Impide eficazmente a humidade mediante métodos como a purga de gas e o control da atmosfera local (LAC), garantindo que as obleas permanezan nun estado seguro mentres agardan o seguinte paso de fabricación. O seu sistema selado e controlado só permite que entren os compostos e elementos necesarios, o que reduce significativamente os efectos adversos dos COV, o osíxeno e a humidade nas obleas.
Dado que unha FOUP cargada con 25 obleas pode pesar ata 9 quilogramos, o seu transporte debe depender dun sistema automatizado de manipulación de materiais (AMHS). Para facilitar isto, a FOUP está deseñada con varias combinacións de placas de acoplamento, pinos e orificios, e está equipada con etiquetas electrónicas RFID para unha fácil identificación e clasificación. Esta manipulación automatizada case non require operación manual, o que reduce en gran medida as taxas de erro e mellora a seguridade e a precisión do proceso de fabricación.
2. Estrutura e clasificación da FOUP
As dimensións típicas dun FOUP son aproximadamente 420 mm de ancho, 335 mm de fondo e 335 mm de alto. Os seus principais compoñentes estruturais inclúen: unha OHT (cabeza de cogomelo) superior para o transporte do polipasto superior; unha porta dianteira para acceder ás obleas do equipo; asas laterais, a miúdo codificadas por cores para distinguir as áreas de proceso con diferentes niveis de contaminación; unha área de tarxetas para colocar tarxetas de mensaxes; e unha etiqueta RFID inferior que serve como identificador único para o FOUP, o que permite que as ferramentas e os polipastos superiores o recoñezan. A base tamén está equipada con catro orificios de identificación e posicionamento para a súa correspondencia coas ferramentas e a distinción das áreas de proceso.
Segundo o seu uso, as FOUP clasifícanse en tres tipos: PRD (para produción), ENG (para obleas de enxeñaría) e MON (para obleas de monitorización). As FOUP PRD pódense usar para a fabricación de produtos, os tipos ENG son axeitados para I+D ou experimentos e os tipos MON dedícanse á monitorización de procesos para pasos como CMP e DIFF. É importante ter en conta que as FOUP PRD pódense usar tanto para fins ENG como MON, e os tipos ENG pódense usar para MON, pero a operación inversa supón riscos de calidade.
Clasificadas por nivel de contaminación, as FOUP pódense dividir en FE FOUP (proceso frontal, sen metal), BE FOUP (proceso posterior, contén metal) e as especializadas para procesos metais específicos como NI FOUP, CU FOUP e CO FOUP. As FOUP para diferentes procesos distínguense normalmente pola cor das asas laterais ou dos paneis das portas. As FOUP dos procesos frontais pódense usar en procesos posteriores, pero as FOUP posteriores nunca se deben usar en procesos frontais, xa que isto causaría riscos de contaminación.
Como operador clave na fabricación de semicondutores, a FOUP, mediante unha alta automatización e un estrito control da contaminación, garante a seguridade e a limpeza das obleas durante o proceso de produción, o que a converte nunha infraestrutura indispensable nas fábricas de obleas modernas.
Conclusión
XKH comprométese a proporcionar aos clientes solucións de cápsulas unificadas de apertura frontal (FOUP) altamente personalizadas, cumprindo estritamente os requisitos específicos do proceso e as especificacións da interface do equipo. Aproveitando a tecnoloxía avanzada de materiais e os procesos de fabricación de precisión, garantimos que cada produto FOUP ofreza unha hermeticidade, limpeza e estabilidade mecánica excepcionais. O noso equipo técnico posúe unha profunda experiencia na industria, ofrecendo un soporte integral do ciclo de vida, desde a consulta de selección e a optimización estrutural ata a limpeza e o mantemento, garantindo unha integración perfecta e unha colaboración eficiente entre a FOUP e o seu Sistema Automatizado de Manexo de Materiais (AMHS), así como o equipo de procesamento. Priorizamos constantemente a seguridade das obleas e a mellora do rendemento da produción como os nosos obxectivos principais. A través de produtos innovadores e servizos técnicos completos, ofrecemos unha garantía sólida para os seus procesos de fabricación de semicondutores, o que en última instancia aumenta a eficiencia da produción e o rendemento do produto.
Data de publicación: 08-09-2025