Oblea de zafiro de 12 polgadas para a fabricación de semicondutores de alto volume

Descrición curta:

A oblea de zafiro de 12 polgadas está deseñada para satisfacer a crecente demanda de fabricación de semicondutores e optoelectrónicos de gran superficie e alto rendemento. A medida que as arquitecturas de dispositivos continúan a escalar e as liñas de produción avanzan cara a formatos de oblea máis grandes, os substratos de zafiro con diámetros ultragrandes ofrecen claras vantaxes en produtividade, optimización do rendemento e control de custos.

Envíanos un correo electrónico

Características

Diagrama detallado

Introdución de obleas de zafiro de 12 polgadas

Fabricadas con Al₂O₃ monocristal de alta pureza, as nosas obleas de zafiro de 12 polgadas combinan unha excelente resistencia mecánica, estabilidade térmica e calidade superficial. Mediante un crecemento cristalino optimizado e un procesamento de precisión das obleas, estes substratos ofrecen un rendemento fiable para aplicacións avanzadas de LED, GaN e semicondutores especiais.

Características do material

O zafiro (óxido de aluminio monocristalino, Al₂O₃) é coñecido polas súas excepcionais propiedades físicas e químicas. As obleas de zafiro de 12 polgadas herdan todas as vantaxes do material de zafiro, ao tempo que proporcionan unha superficie utilizable moito maior.

As características principais do material inclúen:

Dureza e resistencia ao desgaste extremadamente altas
Excelente estabilidade térmica e alto punto de fusión
Resistencia química superior a ácidos e álcalis
Alta transparencia óptica desde lonxitudes de onda UV ata IR
Excelentes propiedades de illamento eléctrico

Estas características fan que as obleas de zafiro de 12 polgadas sexan axeitadas para ambientes de procesamento agresivos e procesos de fabricación de semicondutores a alta temperatura.

Proceso de fabricación

A produción de obleas de zafiro de 12 polgadas require tecnoloxías avanzadas de crecemento de cristais e procesamento de ultraprecisión. O proceso de fabricación típico inclúe:

Crecemento de monocristais
Os cristais de zafiro de alta pureza cultívanse empregando métodos avanzados como a KY ou outras tecnoloxías de crecemento de cristais de gran diámetro, o que garante unha orientación uniforme do cristal e unha baixa tensión interna.
Formación e corte de cristais
O lingote de zafiro moldéase con precisión e córtase en obleas de 12 polgadas empregando equipos de corte de alta precisión para minimizar os danos subsuperficiais.
Pulido e lapeado
Aplícanse procesos de pulido químico-mecánico (CMP) e lapeado en varios pasos para lograr unha excelente rugosidade superficial, planitude e uniformidade de grosor.
Limpeza e inspección
Cada oblea de zafiro de 12 polgadas sométese a unha limpeza exhaustiva e a unha inspección rigorosa, que inclúe análise da calidade da superficie, o TTV, a curvatura, a deformación e os defectos.

Aplicacións

As obleas de zafiro de 12 polgadas úsanse amplamente en tecnoloxías avanzadas e emerxentes, incluíndo:

Substratos LED de alta potencia e alto brillo
Dispositivos de alimentación e dispositivos de RF baseados en GaN
Substratos illantes e soportes de equipos semicondutores
Fiestras ópticas e compoñentes ópticos de gran superficie
Envasado avanzado de semicondutores e portadores de procesos especiais

O gran diámetro permite un maior rendemento e unha mellor eficiencia de custos na produción en masa.

Vantaxes das obleas de zafiro de 12 polgadas

Maior área utilizable para unha maior saída de dispositivo por oblea
Mellora da consistencia e uniformidade do proceso
Custo reducido por dispositivo na produción de alto volume
Excelente resistencia mecánica para a manipulación de grandes tamaños
Especificacións personalizables para diferentes aplicacións

Opcións de personalización

Ofrecemos personalización flexible para obleas de zafiro de 12 polgadas, incluíndo:

Orientación do cristal (plano C, plano A, plano R, etc.)
Tolerancia de espesor e diámetro
Pulido dunha ou dúas caras
Deseño de perfil de bordo e bisel
Requisitos de rugosidade e planitude da superficie

Parámetro	Especificación	Notas
Diámetro da oblea	12 polgadas (300 mm)	Oblea estándar de gran diámetro
Material	Zafiro monocristalino (Al₂O₃)	Alta pureza, grao electrónico/óptico
Orientación do cristal	Plano C (0001), plano A (11-20), plano R (1-102)	Orientacións opcionais dispoñibles
Espesor	430–500 μm	Grosor personalizado dispoñible baixo petición
Tolerancia de espesor	±10 μm	Tolerancia estrita para dispositivos avanzados
Variación total do espesor (TTV)	≤10 μm	Garante un procesamento uniforme en toda a oblea
Arco	≤50 μm	Medido sobre toda a oblea
Deformación	≤50 μm	Medido sobre toda a oblea
Acabado superficial	Pulido nunha soa cara (SSP) / Pulido por ambas caras (DSP)	Superficie de alta calidade óptica
Rugosidade superficial (Ra)	≤0,5 nm (pulido)	Suavidade a nivel atómico para o crecemento epitaxial
Perfil de bordo	Chaflanado / Borde redondeado	Para evitar astillas durante a manipulación
Precisión da orientación	±0,5°	Asegura o crecemento axeitado da capa epitaxial
Densidade de defectos	<10 cm⁻²	Medido por inspección óptica
Planitude	≤2 μm / 100 mm	Garante unha litografía uniforme e un crecemento epitaxial
Limpeza	Clase 100 – Clase 1000	Compatible con salas brancas
Transmisión óptica	>85% (UV-IR)	Depende da lonxitude de onda e do grosor

Preguntas frecuentes sobre obleas de zafiro de 12 polgadas

P1: Cal é o grosor estándar dunha oblea de zafiro de 12 polgadas?
R: O grosor estándar oscila entre os 430 μm e os 500 μm. Tamén se poden producir grosores personalizados segundo os requisitos do cliente.

P2: Que orientacións cristalinas están dispoñibles para as obleas de zafiro de 12 polgadas?
R: Ofrecemos orientacións de plano C (0001), plano A (11-20) e plano R (1-102). Outras orientacións pódense personalizar segundo os requisitos específicos do dispositivo.

P3: Cal é a variación total do grosor (TTV) da oblea?
R: As nosas obleas de zafiro de 12 polgadas adoitan ter un TTV ≤10 μm, o que garante a uniformidade en toda a superficie da oblea para a fabricación de dispositivos de alta calidade.

Sobre nós

XKH especialízase no desenvolvemento, produción e venda de alta tecnoloxía de vidro óptico especial e novos materiais de cristal. Os nosos produtos utilízanse para electrónica óptica, electrónica de consumo e o ámbito militar. Ofrecemos compoñentes ópticos de zafiro, cubertas para lentes de teléfonos móbiles, cerámica, LT, carburo de silicio SIC, cuarzo e obleas de cristal semicondutor. Con experiencia cualificada e equipos de vangarda, destacamos no procesamento de produtos non estándar, co obxectivo de ser unha empresa líder en materiais optoelectrónicos de alta tecnoloxía.