Etapa de rodamentos de aire de SiC de ultraprecisión

Imaxe destacada da platina con rodamentos de aire de SiC de ultraprecisión

Descrición curta:

Coa continua evolución da industria dos semicondutores, os equipos de procesamento e inspección esixen un rendemento cada vez maior. Baseándonos na nosa ampla experiencia en control de movemento e posicionamento a nivel nanométrico, desenvolvemos unha platina de rodamentos de aire de ultraprecisión de dobre eixe de tipo H planar.

Envíanos un correo electrónico

Características

Diagrama detallado

Visión xeral

Deseñada cunha estrutura cerámica de carburo de silicio (SiC) optimizada por elementos finitos e tecnoloxía de rolamentos de aire compensado, a platina ofrece unha precisión, rixidez e resposta dinámica excepcionais. É ideal para:

Procesamento e inspección de semicondutores
Micro/nanofabricación e metroloxía
Corte e pulido con mosca a escala nanométrica
Escaneado de precisión de alta velocidade

Características principais

Guía con rodamientos de aire en SiCpara unha rixidez e precisión ultraelevadas
Alta dinámicavelocidade ata 1 m/s, aceleración ata 4 g, asentamento rápido
Eixo Y de pórtico de dobre accionamentogarante unha alta capacidade de carga e estabilidade
Opcións do codificadorReixa óptica ou interferómetro láser
precisión de posicionamento±0,15 μm;repetibilidade±75 nm
Enrutamento de cables optimizadopara un deseño limpo e fiabilidade a longo prazo
Configuracións personalizablespara necesidades específicas da aplicación

Deseño de ultraprecisión e arquitectura sen contacto e accionamento directo

Marco de cerámica SiC~5× a rixidez da aliaxe de aluminio e ~5× menor expansión térmica, o que garante estabilidade a alta velocidade e robustez térmica.
Cojinete de aire compensadoO deseño patentado mellora a rixidez, a capacidade de carga e a estabilidade do movemento.
Rendemento dinámicoAdmite unha velocidade de 1 m/s e unha aceleración de 4 g, ideal para procesos de alto rendemento.
Integración sen fisurasCompatible con sistemas de illamento de vibracións, plataformas rotatorias, módulos de inclinación e plataformas de manipulación de obleas.
Xestión de cablesO radio de curvatura controlado minimiza a tensión para unha vida útil prolongada.

Motor lineal sen núcleoMovemento suave sen forza de engrenaxe.
Accionamento multimotorA colocación do motor no plano de carga mellora a rectitude, a planitude e a precisión angular.
Illamento térmicoOs motores están illados da estrutura do escenario; refrixeración opcional por aire ou auga para ciclos de alto rendemento.

Especificacións

Modelo	400-400	500-500	600-600
Machados	X (escaneado) / Y (paso)	X (escaneado) / Y (paso)	X (escaneado) / Y (paso)
Percorrido (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Precisión (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Repetibilidade (nm)	±75	±100	±100
Resolución (nm)	0,3	0,3	0,3
Velocidade máxima (m/s)	1	1	1
Aceleración (g)	4	4	4
Rectitude (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Estabilidade (nm)	±5	±5	±5
Carga máxima (kg)	20	20	20
Inclinación/Giración/Guiñeada (arco-segundos)	±1	±1	±1

Condicións de proba:

Subministración de aire: limpo e seco; punto de orballo ≤ 0 °F; filtración de partículas ≤ 0,25 μm; ou 99,99 % de nitróxeno.
Precisión medida a 25 mm por riba do centro da platina a 20 ± 1 °C, 40–60 % de HR.

Aplicacións

Litografía, inspección e manipulación de obleas de semicondutores
Micro/nanofabricación e metroloxía de precisión
Fabricación de óptica de alta gama e interferometría
Investigación científica aeroespacial e avanzada

Preguntas frecuentes: etapa con rodamentos de aire de carburo de silicio

1. Que é unha etapa con soporte de aire?

Unha plataforma con soporte de aire usa unha fina película de aire presurizado entre a plataforma e a guía para proporcionarmovemento sen fricción, sen desgaste e ultrasuaveA diferenza dos rodamentos mecánicos convencionais, elimina o deslizamento adherente, ofrece unha precisión de nivel nanométrico e permite unha fiabilidade a longo prazo.

2. Por que usar carburo de silicio (SiC) para a estrutura do escenario?

Alta rixidez~5× a da aliaxe de aluminio, o que minimiza a deformación durante o movemento dinámico.
baixa expansión térmica~5× menor que o aluminio, mantendo a precisión baixo variacións de temperatura.
LixeiroMenor densidade en comparación co aceiro, o que permite un funcionamento a alta velocidade e alta aceleración.
Excelente estabilidadeAmortiguación e rixidez superiores para un posicionamento ultrapreciso.

3. O escenario require lubricación ou mantemento?

Non se precisa lubricación tradicional xa que haisen contacto mecánicoO mantemento recomendado inclúe:

Suministroaire comprimido ou nitróxeno limpo e seco
Inspección periódica de filtros e secadores
Monitorización de cables e sistemas de refrixeración

4. Cales son os requisitos de subministración de aire?

Punto de orballo: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Filtración de partículas: ≤ 0,25 μm
Aire limpo e seco ou nitróxeno puro ao 99,99 %
Presión estable con flutuación mínima

Sobre nós

XKH especialízase no desenvolvemento, produción e venda de alta tecnoloxía de vidro óptico especial e novos materiais de cristal. Os nosos produtos utilízanse para electrónica óptica, electrónica de consumo e o ámbito militar. Ofrecemos compoñentes ópticos de zafiro, cubertas para lentes de teléfonos móbiles, cerámica, LT, carburo de silicio SIC, cuarzo e obleas de cristal semicondutor. Con experiencia cualificada e equipos de vangarda, destacamos no procesamento de produtos non estándar, co obxectivo de ser unha empresa líder en materiais optoelectrónicos de alta tecnoloxía.