Máquina de corte de fío de diamante de carburo de silicio de 4/6/8/12 polgadas de procesamento de lingotes de SiC

Máquina de corte de fío de diamante de carburo de silicio de 4/6/8/12 polgadas para procesamento de lingotes de SiC Imaxe destacada

Descrición curta:

A máquina de corte de fío de diamante de carburo de silicio é un tipo de equipo de procesamento de alta precisión dedicado ao corte de lingotes de carburo de silicio (SiC). Emprega a tecnoloxía de serra de fío de diamante para cortar lingotes de SiC mediante un fío de diamante de alta velocidade (diámetro da liña de 0,1 a 0,3 mm) de varios fíos, o que permite unha preparación de obleas de alta precisión e baixo dano. Este equipo úsase amplamente no procesamento de substratos de semicondutores de potencia de SiC (MOSFET/SBD), dispositivos de radiofrecuencia (GaN sobre SiC) e dispositivos optoelectrónicos. É un equipo clave na cadea industrial do SiC.

Envíanos un correo electrónico

Características

Principio de funcionamento:

1. Fixación do lingote: o lingote de SiC (4H/6H-SiC) fíxase na plataforma de corte a través do dispositivo de fixación para garantir a precisión da posición (±0,02 mm).

2. Movemento da liña de diamante: a liña de diamante (partículas de diamante electrochapadas na superficie) é impulsada polo sistema de rodas guía para a circulación de alta velocidade (velocidade da liña 10 ~ 30 m / s).

3. Alimentación de corte: o lingote aliméntase na dirección establecida e a liña de diamante córtase simultaneamente con varias liñas paralelas (100~500 liñas) para formar varias obleas.

4. Arrefriamento e eliminación de virutas: Pulverizar refrixerante (auga desionizada + aditivos) na zona de corte para reducir os danos por calor e eliminar as virutas.

Parámetros clave:

1. Velocidade de corte: 0,2~1,0 mm/min (dependendo da dirección do cristal e do grosor do SiC).

2. Tensión da liña: 20~50N (demasiado alta, é doado romper a liña, demasiado baixa afecta á precisión do corte).

3. Grosor da oblea: estándar de 350 a 500 μm, a oblea pode alcanzar os 100 μm.

Características principais:

(1) Precisión de corte
Tolerancia de espesor: ±5 μm (oblea de 350 μm), mellor que o corte con morteiro convencional (±20 μm).

Rugosidade superficial: Ra <0,5 μm (non se require moenda adicional para reducir a cantidade de procesamento posterior).

Deformación: <10 μm (reduce a dificultade do pulido posterior).

(2) Eficiencia do procesamento
Corte multiliña: cortar de 100 a 500 pezas á vez, aumentando a capacidade de produción de 3 a 5 veces (en comparación co corte dunha soa liña).

Vida útil da liña: A liña de diamante pode cortar 100~300 km de SiC (dependendo da dureza do lingote e da optimización do proceso).

(3) Procesamento de baixo dano
Rotura do bordo: <15 μm (corte tradicional >50 μm), mellora o rendemento da oblea.

Capa de danos subsuperficiais: <5 μm (reducir a eliminación do pulido).

(4) Protección e economía do medio ambiente
Sen contaminación do morteiro: custos de eliminación de líquidos residuais reducidos en comparación co corte do morteiro.

Aproveitamento do material: Perda de corte <100 μm/cortador, aforrando materias primas de SiC.

Efecto de corte:

1. Calidade da oblea: sen fendas macroscópicas na superficie, poucos defectos microscópicos (extensión de dislocación controlable). Pode entrar directamente na conexión de pulido rugoso, acurtando o fluxo do proceso.

2. Consistencia: a desviación do grosor da oblea no lote é <±3%, axeitada para a produción automatizada.

3. Aplicabilidade: Admite o corte de lingotes 4H/6H-SiC, compatible co tipo condutor/semi illado.

Especificación técnica:

Especificación	Detalles
Dimensións (L × A × A)	2500x2300x2500 ou personalizar
Rango de tamaño do material de procesamento	4, 6, 8, 10, 12 polgadas de carburo de silicio
Rugosidade da superficie	Ra≤0,3u
velocidade media de corte	0,3 mm/min
Peso	5,5 toneladas
Pasos de configuración do proceso de corte	≤30 pasos
Ruído do equipo	≤80 dB
Tensión do fío de aceiro	0~110N (0,25 a tensión do fío é de 45N)
Velocidade do fío de aceiro	0~30 m/s
Potencia total	50 kW
Diámetro do fío de diamante	≥0,18 mm
Planitude do extremo	≤0,05 mm
Taxa de corte e rotura	≤1% (agás por razóns humanas, material de silicona, liña, mantemento e outras razóns)

Servizos XKH:

XKH ofrece o servizo completo do proceso da máquina de corte de fío de diamante de carburo de silicio, incluíndo a selección de equipos (axuste do diámetro do fío/velocidade do fío), o desenvolvemento do proceso (optimización dos parámetros de corte), o subministro de consumibles (fío de diamante, roda guía) e a asistencia posvenda (mantemento de equipos, análise da calidade de corte), para axudar aos clientes a lograr unha produción en masa de obleas de SiC de alto rendemento (>95 %) e baixo custo. Tamén ofrece actualizacións personalizadas (como corte ultrafino, carga e descarga automatizadas) cun prazo de entrega de 4 a 8 semanas.