Máquina de corte de fío de diamante de carburo de silicio 4/6/8/12 polgadas procesamento de lingotes de SiC

Breve descrición:

A máquina de corte de fío de diamante de carburo de silicio é un tipo de equipo de procesamento de alta precisión dedicado á porción de lingote de carburo de silicio (SiC), que utiliza a tecnoloxía Diamond Wire Saw, a través do fío de diamante en movemento de alta velocidade (diámetro da liña 0,1 ~ 0,3 mm) ata o corte de varios fíos de lingote de SiC, para lograr unha preparación de alta precisión e baixo dano. O equipo utilízase amplamente en semicondutores de potencia SiC (MOSFET/SBD), dispositivos de radiofrecuencia (GaN-on-SiC) e procesamento de substratos de dispositivos optoelectrónicos, é un equipo clave na cadea da industria SiC.

Envíanos un correo electrónico

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Principio de funcionamento:

1. Fixación do lingote: o lingote de SiC (4H/6H-SiC) fíxase na plataforma de corte a través do dispositivo para garantir a precisión da posición (± 0,02 mm).

2. Movemento da liña de diamante: a liña de diamante (partículas de diamante electrochapadas na superficie) é impulsada polo sistema de roda guía para a circulación de alta velocidade (velocidade da liña 10 ~ 30 m/s).

3. Alimentación de corte: o lingote aliméntase ao longo da dirección establecida e a liña de diamante córtase simultaneamente con varias liñas paralelas (100 ~ 500 liñas) para formar varias obleas.

4. Refrixeración e eliminación de virutas: pulverizar refrixerante (auga desionizada + aditivos) na zona de corte para reducir o dano por calor e eliminar as virutas.

Parámetros clave:

1. Velocidade de corte: 0,2 ~ 1,0 mm/min (dependendo da dirección do cristal e do espesor de SiC).

2. Tensión da liña: 20 ~ 50N (moi alta e fácil de romper a liña, moi baixa afecta a precisión de corte).

3. Espesor da oblea: estándar 350 ~ 500μm, a oblea pode alcanzar os 100μm.

Principais características:

(1) Precisión de corte
Tolerancia de espesor: ±5μm (@oblea de 350μm), mellor que o corte de morteiro convencional (±20μm).

Rugosidade da superficie: Ra <0,5 μm (non se precisa moenda adicional para reducir a cantidade de procesamento posterior).

Warpage: <10μm (reducir a dificultade do pulido posterior).

(2) Eficiencia do procesamento
Corte multiliña: corta de 100 a 500 pezas á vez, aumentando a capacidade de produción de 3 a 5 veces (frente ao corte dunha liña).

Vida útil da liña: a liña de diamante pode cortar 100 ~ 300 km SiC (dependendo da dureza do lingote e da optimización do proceso).

(3) Procesamento de baixo dano
Rotura do bordo: <15μm (corte tradicional > 50μm), mellora o rendemento da oblea.

Capa de danos subterráneos: <5μm (reducir a eliminación do pulido).

(4) Protección ambiental e economía
Sen contaminación de morteiro: custos reducidos de eliminación de líquidos residuais en comparación co corte de morteiro.

Utilización do material: perda de corte <100μm/cortador, aforrando materias primas de SiC.

Efecto de corte:

1. Calidade da oblea: sen fisuras macroscópicas na superficie, poucos defectos microscópicos (extensión de luxación controlable). Pode entrar directamente no enlace de pulido áspero, acurtar o fluxo do proceso.

2. Consistencia: a desviación do espesor da oblea no lote é <± 3%, adecuada para a produción automatizada.

3.Aplicabilidade: admite o corte de lingotes 4H/6H-SiC, compatible co tipo condutor/semi-illado.

Especificación técnica:

Especificación	Detalles
Dimensións (L × W × H)	2500x2300x2500 ou personaliza
Intervalo de tamaño de material de procesamento	4, 6, 8, 10, 12 polgadas de carburo de silicio
Rugosidade superficial	Ra≤0,3u
Velocidade media de corte	0,3 mm/min
Peso	5,5 t
Pasos de configuración do proceso de corte	≤30 pasos
Ruído dos equipos	≤80 dB
Tensión do fío de aceiro	0~110N (0,25 tensión do cable é 45N)
Velocidade do fío de aceiro	0 ~ 30 m/s
Potencia total	50 kW
Diámetro do fío de diamante	≥0,18 mm
Termina a planitude	≤ 0,05 mm
Velocidade de corte e rotura	≤1% (excepto por razóns humanas, material de silicio, liña, mantemento e outras razóns)

Servizos XKH:

XKH ofrece todo o servizo de proceso da máquina de corte de fío de diamante de carburo de silicio, incluíndo a selección de equipos (axuste de diámetro do fío/velocidade do fío), desenvolvemento de procesos (optimización de parámetros de corte), subministración de consumibles (fío de diamante, roda guía) e soporte posvenda (mantemento de equipos, análise de calidade de corte), para axudar aos clientes a conseguir un alto rendemento (> 95 %), obleas de produción en masa de baixo custo. Tamén ofrece actualizacións personalizadas (como corte ultrafino, carga e descarga automatizadas) cun prazo de entrega de 4 a 8 semanas.