Silicon Carbide Bandea Cerámica Chupador Silicon Carburo Cerámica Subministración de cerámica Alta temperatura Procesamento personalizado

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Descrición curta:

Bandeja de cerámica de carburo de silicio e tubos de cerámica de carburo de silicio son materiais de alto rendemento indispensables na fabricación de semiconductores. A bandexa de cerámica de carburo de silicio úsase principalmente no procesamento de obleas fixo e rodado, para garantir a estabilidade do proceso de alta precisión; Os tubos de cerámica de carburo de silicio son amplamente empregados en tubos de forno de alta temperatura, tubos de forno de difusión e outros escenarios para soportar ambientes extremos e manter unha xestión térmica eficiente. Ambos están baseados no carburo de silicio como material básico, que se converteu nun compoñente clave na industria dos semicondutores debido ás súas excelentes propiedades físicas e químicas.

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Detalle do produto

Etiquetas de produto

Características principais:

1. Bandexa de cerámica de carburo de silicio
- Alta dureza e resistencia ao desgaste: a dureza está preto do diamante e pode soportar o desgaste mecánico no procesamento da oblea durante moito tempo.
- Alta condutividade térmica e baixa coeficiente de expansión térmica: disipación rápida de calor e estabilidade dimensional, evitando a deformación causada polo estrés térmico.
- Alta plana e acabado superficial: a platura superficial está ata o nivel de micras, asegurando o contacto completo entre a oblea e o disco, reducindo a contaminación e os danos.
Estabilidade química: forte resistencia á corrosión, adecuada para os procesos de limpeza e gravado en húmido na fabricación de semiconductores.
2. Tubo de cerámica de carburo de silicio
- Alta resistencia á temperatura: pode funcionar nun ambiente de alta temperatura superior a 1600 ° C durante moito tempo, adecuado para un proceso de alta temperatura de semiconductor.
Excelente resistencia á corrosión: resistente aos ácidos, álcalis e unha variedade de disolventes químicos, adecuados para ambientes de proceso duros.
- Alta dureza e resistencia ao desgaste: resistir a erosión de partículas e o desgaste mecánico, prolongar a vida útil.
- Alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansión térmica: condución rápida da calor e estabilidade dimensional, reducindo a deformación ou o craqueo causado pola tensión térmica.

Parámetro do produto ：

Parámetro da bandexa de cerámica de carburo de silicio:

(Propiedade material)		(Unidade)	(SSIC)
(Contido sic)		(Wt)%	> 99
(Tamaño medio do gran)		micron	4-10
(Densidade)		kg/dm3	> 3.14
(Aparente porosidade)		VO1%	<0,5
(Dureza de Vickers)	HV 0,5	GPA	28
() Forza de flexión (tres puntos)	20ºC	MPA	450
(Forza de compresión)	20ºC	MPA	3900
(Módulo elástico)	20ºC	GPA	420
(Dureza da fractura)		MPA/M '%	3.5
(Condutividade térmica)	20 ° ºC	W/(M*K)	160
(Resistividade)	20 ° ºC	Ohm.cm	106-108
(Coeficiente de expansión térmica)	a (rt ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Temperatura máxima de funcionamento)		OºC	1700

Parámetro de tubo de cerámica de carburo de silicio:

Elementos	Índice
α-sic	99% min
Porosidade aparente	16% máx
Densidade a granel	2,7g/cm3 min
Forza de flexión a alta temperatura	100 MPa min
Coeficiente de expansión térmica	K -1 4.7x10 -6
Coeficiente de condutividade térmica (1400 ºC)	24 W/Mk
Máx. Temperatura de traballo	1650ºC

Aplicacións principais:

1. Placa de cerámica de carburo de silicio
- Corte e pulido da oblea: serve como plataforma de rodamentos para garantir a alta precisión e estabilidade durante o corte e o pulido.
- Proceso de litografía: a oblea está fixada na máquina de litografía para garantir o posicionamento de alta precisión durante a exposición.
- pulido mecánico químico (CMP): actúa como plataforma de soporte para as almofadas de pulido, proporcionando presión uniforme e distribución de calor.
2. Tubo de cerámica de carburo de silicio
- Tubo de forno de alta temperatura: usado para equipos de alta temperatura como forno de difusión e forno de oxidación para transportar obleas para o tratamento do proceso de alta temperatura.
- Proceso CVD/PVD: como tubo de rodamento na cámara de reacción, resistente a altas temperaturas e gases corrosivos.
- Accesorios de equipos de semiconductores: para intercambiadores de calor, gasoductos, etc., para mellorar a eficiencia de xestión térmica dos equipos.
XKH ofrece unha gama completa de servizos personalizados para bandexas de cerámica de carburo de silicio, cuncas de succión e tubos de cerámica de carburo de silicio. As bandexas de cerámica de carburo de silicio e as cuncas de succión, XKH pódese personalizar segundo as necesidades do cliente de diferentes tamaños, formas e rugosidade da superficie e soportar o tratamento especial do revestimento, aumentar a resistencia ao desgaste e a resistencia á corrosión; Para tubos de cerámica de carburo de silicio, XKH pode personalizar unha variedade de diámetro interno, diámetro exterior, lonxitude e estrutura complexa (como tubo en forma ou tubo poroso) e proporcionar pulido, revestimento anti-oxidación e outros procesos de tratamento superficial. XKH asegura que os clientes poden aproveitar ao máximo os beneficios de rendemento dos produtos de cerámica de carburo de silicio para satisfacer os esixentes requisitos de campos de fabricación de alta gama como semiconductores, LEDs e fotovoltaica.