Ventosa de bandexa de cerámica de carburo de silicio Subministración de tubos cerámicos de carburo de silicio Sinterización a alta temperatura Procesamento personalizado
Características principais:
1. Bandexa cerámica de carburo de silicio
- Alta dureza e resistencia ao desgaste: a dureza é próxima á do diamante e pode soportar o desgaste mecánico no procesamento de obleas durante moito tempo.
- Alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansión térmica: rápida disipación da calor e estabilidade dimensional, evitando a deformación causada pola tensión térmica.
- Alta planitude e acabado superficial: a planitude da superficie é de ata o nivel de micras, o que garante un contacto completo entre a oblea e o disco, reducindo a contaminación e os danos.
Estabilidade química: Forte resistencia á corrosión, axeitada para procesos de limpeza húmida e gravado na fabricación de semicondutores.
2. Tubo cerámico de carburo de silicio
- Resistencia a altas temperaturas: pode funcionar en ambientes de alta temperatura por riba dos 1600 °C durante moito tempo, axeitado para procesos de semicondutores a alta temperatura.
Excelente resistencia á corrosión: resistente a ácidos, álcalis e unha variedade de solventes químicos, axeitado para ambientes de proceso agresivos.
- Alta dureza e resistencia ao desgaste: resisten a erosión das partículas e o desgaste mecánico, prolongan a vida útil.
- Alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansión térmica: rápida condución da calor e estabilidade dimensional, o que reduce a deformación ou as fisuras causadas pola tensión térmica.
Parámetro do produto:
Parámetro da bandexa cerámica de carburo de silicio:
| (Propiedade material) | (Unidade) | (ssic) | |
| (contido de SiC) | (Peso)% | >99 | |
| (Tamaño medio de gran) | micras | 4-10 | |
| (Densidade) | kg/dm³ | >3.14 | |
| (Porosidade aparente) | Vo1% | <0,5 | |
| (Dureza Vickers) | Alta tensión 0,5 | GPa | 28 |
| *() Resistencia á flexión* (tres puntos) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Resistencia á compresión) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Módulo elástico) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Resistencia á fractura) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Condutividade térmica) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Resistividade) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Coeficiente de expansión térmica) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Temperatura máxima de funcionamento) | oºC | 1700 | |
Parámetro do tubo cerámico de carburo de silicio:
| elementos | Índice |
| α-SIC | 99% mínimo |
| Porosidade aparente | 16% máximo |
| Densidade aparente | 2,7 g/cm³ min |
| Resistencia á flexión a alta temperatura | 100 Mpa mín |
| Coeficiente de expansión térmica | K-1 4,7x10 -6 |
| Coeficiente de condutividade térmica (1400ºC) | 24 W/mk |
| Temperatura máxima de traballo | 1650ºC |
Principais aplicacións:
1. Placa cerámica de carburo de silicio
- Corte e pulido de obleas: serve como plataforma de apoio para garantir unha alta precisión e estabilidade durante o corte e o pulido.
- Proceso de litografía: a oblea fíxase na máquina de litografía para garantir un posicionamento de alta precisión durante a exposición.
- Pulido químico-mecánico (CMP): actúa como unha plataforma de soporte para as almofadas de pulido, proporcionando unha presión e unha distribución uniformes da calor.
2. Tubo cerámico de carburo de silicio
- Tubo de forno de alta temperatura: úsase para equipos de alta temperatura, como fornos de difusión e fornos de oxidación, para transportar obleas para tratamento de procesos a alta temperatura.
- Proceso CVD/PVD: Como tubo de apoio na cámara de reacción, resistente a altas temperaturas e gases corrosivos.
- Accesorios para equipos semicondutores: para intercambiadores de calor, gasodutos, etc., para mellorar a eficiencia da xestión térmica dos equipos.
XKH ofrece unha gama completa de servizos personalizados para bandexas, ventosas e tubos cerámicos de carburo de silicio. As bandexas e ventosas cerámicas de carburo de silicio de XKH pódense personalizar segundo os requisitos do cliente en diferentes tamaños, formas e rugosidade superficial, e admiten tratamentos de revestimento especiais, melloran a resistencia ao desgaste e á corrosión; para tubos cerámicos de carburo de silicio, XKH pode personalizar unha variedade de diámetros interiores, diámetros exteriores, lonxitudes e estruturas complexas (como tubos con forma ou tubos porosos), e proporcionar procesos de pulido, revestimento antioxidante e outros procesos de tratamento superficial. XKH garante que os clientes poidan aproveitar ao máximo os beneficios de rendemento dos produtos cerámicos de carburo de silicio para cumprir cos esixentes requisitos de campos de fabricación de alta gama como semicondutores, leds e fotovoltaica.
Diagrama detallado
