Sustrato de SiC tipo P 4H/6H-P 3C-N 4 polgadas cun espesor de 350um Grao de produción Grao ficticio

Breve descrición:

O substrato SiC tipo P 4H/6H-P 3C-N de 4 polgadas, cun espesor de 350 μm, é un material semicondutor de alto rendemento moi utilizado na fabricación de dispositivos electrónicos. Coñecido pola súa excepcional condutividade térmica, alta tensión de avaría e resistencia a temperaturas extremas e ambientes corrosivos, este substrato é ideal para aplicacións de electrónica de potencia. O substrato de calidade de produción úsase na fabricación a gran escala, garantindo un estrito control de calidade e unha alta fiabilidade en dispositivos electrónicos avanzados. Mentres tanto, o substrato de calidade ficticia utilízase principalmente para a depuración de procesos, a calibración de equipos e a creación de prototipos. As propiedades superiores do SiC fan que sexa unha excelente opción para dispositivos que operan en ambientes de alta temperatura, alta tensión e alta frecuencia, incluíndo dispositivos de alimentación e sistemas de RF.


Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Táboa de parámetros de substrato SiC de 4 polgadas tipo P 4H/6H-P 3C-N

4 silicio de diámetro en polgadasSubstrato de carburo (SiC). Especificación

Grao Produción de MPD cero

Grao (Z Grao)

Produción estándar

Grao (P Grao)

 

Grao Dummy (D Grao)

Diámetro 99,5 mm~100,0 mm
Espesor 350 μm ± 25 μm
Orientación de obleas Fóra do eixe: 2,0°-4,0° cara a [112(-)0] ± 0,5° para 4H/6H-P, OEixe n:〈111〉± 0,5° para 3C-N
Densidade de microtubo 0 cm-2
Resistividade tipo p 4H/6H-P ≤0,1 Ωꞏcm ≤0,3 Ωꞏcm
tipo n 3C-N ≤0,8 mΩꞏcm ≤1 m Ωꞏcm
Orientación primaria de piso 4H/6H-P -

{1010} ± 5,0°

3C-N -

{110} ± 5,0°

Lonxitude plana primaria 32,5 mm ± 2,0 mm
Lonxitude plana secundaria 18,0 mm ± 2,0 mm
Orientación de piso secundario Silicona cara arriba: 90° CW. de Prime flat±5,0°
Exclusión de borde 3 mm 6 mm
LTV/TTV/Bow/Warp ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Rugosidade Ra≤1 nm polaco
CMP Ra≤0,2 nm Ra ≤ 0,5 nm
Rachaduras de borde pola luz de alta intensidade Ningún Lonxitude acumulada ≤ 10 mm, lonxitude única ≤ 2 mm
Placas hexagonales por luz de alta intensidade Área acumulada ≤0,05% Área acumulada ≤0,1%
Zonas politípicas por luz de alta intensidade Ningún Área acumulada ≤ 3 %
Inclusións de carbono visual Área acumulada ≤0,05% Área acumulada ≤ 3 %
Arañazos na superficie de silicio por luz de alta intensidade Ningún Lonxitude acumulada ≤ 1 × diámetro da oblea
Chips de borde alto pola intensidade da luz Non se permite ningún ≥0,2 mm de ancho e profundidade 5 permitidos, ≤1 mm cada un
Contaminación da superficie de silicio por alta intensidade Ningún
Embalaxe Casete de obleas múltiples ou recipiente de obleas simples

Notas:

※Os límites de defectos aplícanse a toda a superficie da oblea, excepto á zona de exclusión do bordo. # Os arañazos deben comprobarse só na cara Si.

O substrato de SiC tipo P 4H/6H-P 3C-N de 4 polgadas cun espesor de 350 μm aplícase amplamente na fabricación avanzada de dispositivos electrónicos e de potencia. Cunha excelente condutividade térmica, alta tensión de avaría e unha forte resistencia a ambientes extremos, este substrato é ideal para produtos electrónicos de potencia de alto rendemento, como interruptores de alta tensión, inversores e dispositivos de RF. Os substratos de calidade de produción utilízanse na fabricación a gran escala, o que garante un rendemento fiable e de alta precisión do dispositivo, o que é fundamental para a electrónica de potencia e as aplicacións de alta frecuencia. Os substratos de calidade ficticia, por outra banda, úsanse principalmente para a calibración de procesos, probas de equipos e desenvolvemento de prototipos, axudando a manter o control de calidade e a consistencia do proceso na produción de semicondutores.

Especificación As vantaxes dos substratos compostos de SiC de tipo N inclúen

  • Alta condutividade térmica: A disipación de calor eficiente fai que o substrato sexa ideal para aplicacións de alta temperatura e alta potencia.
  • Alta tensión de avaría: Admite o funcionamento de alta tensión, garantindo a fiabilidade nos dispositivos electrónicos de potencia e RF.
  • Resistencia a ambientes duros: Duradeiro en condicións extremas, como altas temperaturas e ambientes corrosivos, o que garante un rendemento duradeiro.
  • Precisión de grao de produción: Asegura un rendemento fiable e de alta calidade na fabricación a gran escala, axeitado para aplicacións avanzadas de potencia e RF.
  • Grao ficticio para probas: Permite a calibración precisa do proceso, as probas de equipos e a creación de prototipos sen comprometer as obleas de calidade de produción.

 En xeral, o substrato SiC tipo P 4H/6H-P 3C-N de 4 polgadas cun espesor de 350 μm ofrece vantaxes significativas para aplicacións electrónicas de alto rendemento. A súa alta condutividade térmica e a súa tensión de avaría fan que sexa ideal para ambientes de alta potencia e alta temperatura, mentres que a súa resistencia a condicións duras garante durabilidade e fiabilidade. O substrato de calidade de produción garante un rendemento preciso e consistente na fabricación a gran escala de dispositivos electrónicos de potencia e RF. Mentres tanto, o substrato de calidade ficticia é esencial para a calibración do proceso, as probas de equipos e a creación de prototipos, apoiando o control de calidade e a coherencia na produción de semicondutores. Estas características fan que os substratos de SiC sexan moi versátiles para aplicacións avanzadas.

Diagrama detallado

b3
b4

  • Anterior:
  • Seguinte:

  • Escribe aquí a túa mensaxe e envíanolo