Sustrato de SiC tipo P 4H/6H-P 3C-N 4 polgadas cun espesor de 350um Grao de produción Grao ficticio
Táboa de parámetros de substrato SiC de 4 polgadas tipo P 4H/6H-P 3C-N
4 silicio de diámetro en polgadasSubstrato de carburo (SiC). Especificación
Grao | Produción de MPD cero Grao (Z Grao) | Produción estándar Grao (P Grao) | Grao Dummy (D Grao) | ||
Diámetro | 99,5 mm~100,0 mm | ||||
Espesor | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientación de obleas | Fóra do eixe: 2,0°-4,0° cara a [1120] ± 0,5° para 4H/6H-P, OEixe n:〈111〉± 0,5° para 3C-N | ||||
Densidade de microtubo | 0 cm-2 | ||||
Resistividade | tipo p 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
tipo n 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Orientación primaria de piso | 4H/6H-P | - {1010} ± 5,0° | |||
3C-N | - {110} ± 5,0° | ||||
Lonxitude plana primaria | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Lonxitude plana secundaria | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientación de piso secundario | Silicona cara arriba: 90° CW. de Prime flat±5,0° | ||||
Exclusión de borde | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Bow/Warp | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Rugosidade | Ra≤1 nm polaco | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra ≤ 0,5 nm | ||||
Rachaduras de borde pola luz de alta intensidade | Ningún | Lonxitude acumulada ≤ 10 mm, lonxitude única ≤ 2 mm | |||
Placas hexagonales por luz de alta intensidade | Área acumulada ≤0,05% | Área acumulada ≤0,1% | |||
Zonas politípicas por luz de alta intensidade | Ningún | Área acumulada ≤ 3 % | |||
Inclusións de carbono visual | Área acumulada ≤0,05% | Área acumulada ≤3% | |||
Arañazos na superficie de silicio por luz de alta intensidade | Ningún | Lonxitude acumulada ≤ 1 × diámetro da oblea | |||
Chips de borde de alta intensidade de luz | Non se permite ningún ≥0,2 mm de ancho e profundidade | 5 permitidos, ≤1 mm cada un | |||
Contaminación da superficie de silicio por alta intensidade | Ningún | ||||
Embalaxe | Casete de obleas múltiples ou recipiente de obleas simples |
Notas:
※Os límites de defectos aplícanse a toda a superficie da oblea, excepto á zona de exclusión do bordo. # Os arañazos deben comprobarse só na cara Si.
O substrato de SiC tipo P 4H/6H-P 3C-N de 4 polgadas cun espesor de 350 μm aplícase amplamente na fabricación avanzada de dispositivos electrónicos e de potencia. Cunha excelente condutividade térmica, alta tensión de avaría e unha forte resistencia a ambientes extremos, este substrato é ideal para produtos electrónicos de potencia de alto rendemento, como interruptores de alta tensión, inversores e dispositivos de RF. Os substratos de calidade de produción utilízanse na fabricación a gran escala, o que garante un rendemento fiable e de alta precisión do dispositivo, o que é fundamental para a electrónica de potencia e as aplicacións de alta frecuencia. Os substratos de calidade ficticia, por outra banda, úsanse principalmente para a calibración de procesos, probas de equipos e desenvolvemento de prototipos, axudando a manter o control de calidade e a consistencia do proceso na produción de semicondutores.
EspecificaciónAs vantaxes dos substratos compostos de SiC de tipo N inclúen
- Alta condutividade térmica: A disipación de calor eficiente fai que o substrato sexa ideal para aplicacións de alta temperatura e alta potencia.
- Alta tensión de avaría: Admite o funcionamento de alta tensión, garantindo a fiabilidade nos dispositivos electrónicos de potencia e RF.
- Resistencia a ambientes duros: Duradeiro en condicións extremas, como altas temperaturas e ambientes corrosivos, garantindo un rendemento duradeiro.
- Precisión de grao de produción: Asegura un rendemento fiable e de alta calidade na fabricación a gran escala, axeitado para aplicacións avanzadas de potencia e RF.
- Grao ficticio para probas: Permite a calibración precisa do proceso, as probas de equipos e a creación de prototipos sen comprometer as obleas de calidade de produción.
En xeral, o substrato SiC tipo P 4H/6H-P 3C-N de 4 polgadas cun espesor de 350 μm ofrece vantaxes significativas para aplicacións electrónicas de alto rendemento. A súa alta condutividade térmica e a súa tensión de avaría fan que sexa ideal para ambientes de alta potencia e alta temperatura, mentres que a súa resistencia a condicións duras garante durabilidade e fiabilidade. O substrato de calidade de produción garante un rendemento preciso e consistente na fabricación a gran escala de dispositivos electrónicos de potencia e RF. Mentres tanto, o substrato de calidade ficticia é esencial para a calibración do proceso, as probas de equipos e a creación de prototipos, apoiando o control de calidade e a coherencia na produción de semicondutores. Estas características fan que os substratos de SiC sexan moi versátiles para aplicacións avanzadas.