Substrato de zafiro con patrón PSS 2Inch 4inch 6Inch ICP gravado en seco pódese usar para chips LED
Característica do núcleo
1. Características do material: o material do substrato é un único zafiro de cristal (Al₂o₃), con alta dureza, alta resistencia á calor e estabilidade química.
2. Estrutura superficial: a superficie está formada por fotolitografía e gravado en estruturas de micro-nano periódicas, como conos, pirámides ou matrices hexagonais.
3. Rendemento óptico: a través do deseño de patrón de superficie, redúcese o reflexo total da luz na interface e mellorase a eficiencia da extracción de luz.
4. Rendemento térmico: o substrato de zafiro ten unha excelente condutividade térmica, adecuada para aplicacións LED de alta potencia.
5. Especificacións de tamaño: Os tamaños comúns son de 50,8 mm (100 polgadas) e 6 polgadas (150 mm).
Principais áreas de aplicación
1. Fabricación LED:
Mellora da eficiencia de extracción de luz: o PSS reduce a perda de luz mediante o deseño de patrón, mellorando significativamente o brillo LED e a eficiencia luminosa.
Mellora da calidade do crecemento epitaxial: a estrutura con patrón proporciona unha mellor base de crecemento para as capas epitaxiales GaN e mellora o rendemento LED.
2. Diodo láser (LD):
Láseres de alta potencia: A alta condutividade térmica e a estabilidade dos PS son adecuados para diodos láser de alta potencia, mellorando o rendemento e a fiabilidade da disipación da calor.
Corrente de limiar baixo: optimiza o crecemento epitaxial, reduce a corrente limiar do diodo láser e mellora a eficiencia.
3. Fotodetector:
Alta sensibilidade: a alta transmisión de luz e a baixa densidade de defectos do PSS melloran a sensibilidade e a velocidade de resposta do fotodetector.
Amplia resposta espectral: adecuado para a detección fotoeléctrica no ultravioleta ao rango visible.
4. Electrónica de enerxía:
Resistencia de alta tensión: o illamento elevado de zafiro e a estabilidade térmica son adecuados para dispositivos de potencia de alta tensión.
Disipación de calor eficiente: a alta condutividade térmica mellora o rendemento da disipación de calor dos dispositivos de potencia e prolonga a vida útil.
5. Dispositivos RF:
Rendemento de alta frecuencia: a baixa perda dieléctrica e a alta estabilidade térmica dos PS son adecuados para dispositivos RF de alta frecuencia.
Ruído baixo: alta platez e baixa densidade de defectos reducen o ruído do dispositivo e mellora a calidade do sinal.
6. Biosensores:
Detección de alta sensibilidade: a alta transmisión de luz e a estabilidade química dos PS son adecuados para biosensores de alta sensibilidade.
Biocompatibilidade: a biocompatibilidade do zafiro fai que sexa adecuado para aplicacións médicas e de biodetección.
Substrato de zafiro con patrón (PSS) con material epitaxial GAN:
O substrato de zafiro con patrón (PSS) é un substrato ideal para o crecemento epitaxial GAN (nitruro de galio). A constante de celosía de Sapphire está preto de GaN, o que pode reducir os desaxustes e defectos de celosía no crecemento epitaxial. A estrutura micro-nano da superficie do PSS non só mellora a eficiencia da extracción de luz, senón que tamén mellora a calidade de cristal da capa epitaxial GaN, mellorando así o rendemento e a fiabilidade do LED.
Parámetros técnicos
Elemento | Substrato de zafiro con patrón (2 ~ 6 pulgadas) | ||
Diámetro | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
Grosor | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
Orientación á superficie | C-plano (0001) fóra do ángulo cara ao eixo M (10-10) 0,2 ± 0,1 ° | ||
C-Plane (0001) fóra do ángulo cara ao eixe A (11-20) 0 ± 0,1 ° | |||
Orientación plana primaria | A-Plane (11-20) ± 1,0 ° | ||
Lonxitude plana primaria | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
Plano R. | 9-o'clock | ||
Acabado da superficie dianteira | Estampado | ||
Acabado de superficie traseira | SSP: Fine-Ground, RA = 0,8-1,2um; DSP: epi-pulido, RA <0,3 nm | ||
Marca láser | Lado traseiro | ||
TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
Arco | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
Warp | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
Exclusión do bordo | ≤2 mm | ||
Especificación de patrón | Estrutura de forma | Cúpula, cono, pirámide | |
Altura do patrón | 1,6 ~ 1,8μm | ||
Diámetro do patrón | 2,75 ~ 2,85μm | ||
Espazo de patrón | 0,1 ~ 0,3μm |
XKH está especializado en proporcionar substratos de zafiro de alta calidade e personalizados (PSS) con soporte técnico e servizo posvenda para axudar aos clientes a conseguir unha innovación eficiente no campo de LED, exhibición e optoelectrónica.
1. Subministración de PSS de alta calidade: substratos de zafiro con patróns nunha variedade de tamaños (2 ", 4", 6 ") para satisfacer as necesidades de dispositivos LED, exhibición e optoelectrónicos.
2. Deseño personalizado: personaliza a estrutura de micro-nano superficial (como o cono, a pirámide ou a matriz hexagonal) segundo as necesidades do cliente para optimizar a eficiencia da extracción de luz.
3. Soporte técnico: proporcionar deseño de aplicacións PSS, optimización de procesos e consulta técnica para axudar aos clientes a mellorar o rendemento do produto.
4. Apoio de crecemento epitaxial: Ofrécese PSS combinado co material epitaxial GAN para garantir o crecemento da capa epitaxial de alta calidade.
5. Proba e certificación: proporcionar informe de inspección de calidade PSS para asegurarse de que os produtos cumpran os estándares da industria.
Diagrama detallado


