O gravado en seco ICP de substrato de zafiro con patrón PSS de 2 polgadas, 4 polgadas e 6 polgadas pódese usar para chips LED
Característica principal
1. Características do material: O material do substrato é un zafiro monocristalino (Al₂O₃), con alta dureza, alta resistencia á calor e estabilidade química.
2. Estrutura superficial: A superficie fórmase mediante fotolitografía e gravado en micro-nanoestruturas periódicas, como conos, pirámides ou matrices hexagonais.
3. Rendemento óptico: Mediante o deseño de patrón superficial, redúcese a reflexión total da luz na interface e mellórase a eficiencia de extracción da luz.
4. Rendemento térmico: o substrato de zafiro ten unha excelente condutividade térmica, axeitado para aplicacións LED de alta potencia.
5. Especificacións de tamaño: os tamaños habituais son 2 polgadas (50,8 mm), 4 polgadas (100 mm) e 6 polgadas (150 mm).
Principais áreas de aplicación
1. Fabricación de LED:
Mellora da eficiencia de extracción de luz: o PSS reduce a perda de luz mediante o deseño de padróns, mellorando significativamente o brillo e a eficiencia luminosa dos LED.
Mellora da calidade do crecemento epitaxial: a estrutura con patrón proporciona unha mellor base de crecemento para as capas epitaxiais de GaN e mellora o rendemento dos LED.
2. Diodo láser (LD):
Láseres de alta potencia: a alta condutividade térmica e estabilidade do PSS son axeitados para díodos láser de alta potencia, mellorando o rendemento e a fiabilidade da disipación da calor.
Corrente limiar baixa: optimiza o crecemento epitaxial, reduce a corrente limiar do díodo láser e mellora a eficiencia.
3. Fotodetector:
Alta sensibilidade: a alta transmisión da luz e a baixa densidade de defectos do PSS melloran a sensibilidade e a velocidade de resposta do fotodetector.
Resposta espectral ampla: axeitada para a detección fotoeléctrica no rango ultravioleta-visible.
4. Electrónica de potencia:
Resistencia a alta tensión: o alto illamento e a estabilidade térmica de Sapphire son axeitados para dispositivos de alimentación de alta tensión.
Disipación eficiente da calor: a alta condutividade térmica mellora o rendemento de disipación da calor dos dispositivos de alimentación e prolonga a vida útil.
5. Dispositivos de radiofrecuencia:
Rendemento de alta frecuencia: a baixa perda dieléctrica e a alta estabilidade térmica do PSS son axeitadas para dispositivos de RF de alta frecuencia.
Baixo ruído: a alta planitude e a baixa densidade de defectos reducen o ruído do dispositivo e melloran a calidade do sinal.
6. Biosensores:
Detección de alta sensibilidade: a alta transmisión de luz e a estabilidade química do PSS son axeitadas para biosensores de alta sensibilidade.
Biocompatibilidade: A biocompatibilidade do zafiro faino axeitado para aplicacións médicas e de biodetección.
Substrato de zafiro con patrón (PSS) con material epitaxial de GaN:
O substrato de zafiro con patrón (PSS) é un substrato ideal para o crecemento epitaxial de GaN (nitruro de galio). A constante de rede do zafiro é próxima á de GaN, o que pode reducir os desaxustes de rede e os defectos no crecemento epitaxial. A micro-nanoestrutura da superficie do PSS non só mellora a eficiencia de extracción de luz, senón que tamén mellora a calidade cristalina da capa epitaxial de GaN, mellorando así o rendemento e a fiabilidade do LED.
Parámetros técnicos
| Elemento | Substrato de zafiro estampado (2~6 polgadas) | ||
| Diámetro | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Espesor | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
| Orientación da superficie | Plano C (0001) fóra do ángulo respecto ao eixe M (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| Plano C (0001) fóra do ángulo respecto ao eixe A (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Orientación plana primaria | Plano A (11-20) ± 1,0° | ||
| Lonxitude plana primaria | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| Plano R | ás 9 da mañá | ||
| Acabado da superficie frontal | Estampado | ||
| Acabado da superficie traseira | SSP: Molido fino, Ra=0,8-1,2 um; DSP: Epipulido, Ra<0,3 nm | ||
| Marca láser | Parte traseira | ||
| TVG | ≤8 μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
| ARCO | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤25 μm |
| URPIÓN | ≤12 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
| Exclusión de bordos | ≤2 mm | ||
| Especificación do patrón | Estrutura de forma | Cúpula, Cono, Pirámide | |
| Altura do patrón | 1,6~1,8 μm | ||
| Diámetro do patrón | 2,75~2,85 μm | ||
| Espazo de patróns | 0,1~0,3 μm | ||
XKH especialízase en fornecer substratos de zafiro con patrón (PSS) personalizados e de alta calidade con soporte técnico e servizo posvenda para axudar aos clientes a lograr unha innovación eficiente no campo dos LED, as pantallas e a optoelectrónica.
1. Suministro de PSS de alta calidade: substratos de zafiro estampados nunha variedade de tamaños (2", 4", 6") para satisfacer as necesidades de dispositivos LED, de pantalla e optoelectrónicos.
2. Deseño personalizado: personalice a estrutura micronano da superficie (como un cono, unha pirámide ou unha matriz hexagonal) segundo as necesidades do cliente para optimizar a eficiencia de extracción da luz.
3. Soporte técnico: Ofrecemos deseño de aplicacións PSS, optimización de procesos e asesoramento técnico para axudar aos clientes a mellorar o rendemento do produto.
4. Soporte para o crecemento epitaxial: O PSS combinado co material epitaxial de GaN ofrécese para garantir un crecemento da capa epitaxial de alta calidade.
5. Probas e certificación: proporcionar un informe de inspección de calidade de PSS para garantir que os produtos cumpran os estándares da industria.
Diagrama detallado
