Oblea de SiC tipo P 4H/6H-P 3C-N, 6 polgadas de grosor e 350 μm con orientación plana primaria
Especificación Substratos compostos de SiC tipo 4H/6H-P Táboa de parámetros comúns
6 substrato de carburo de silicio (SiC) de polgadas de diámetro Especificación
Grao | Produción cero de MPDGrao (Z) Grao) | Produción estándarGrao (P Grao) | Grao de simulación (D Grao) | ||
Diámetro | 145,5 mm~150,0 mm | ||||
Espesor | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientación da oblea | -Offeixe: 2,0°-4,0° cara a [1120] ± 0,5° para 4H/6H-P, no eixe: 〈111〉± 0,5° para 3C-N | ||||
Densidade de microtubos | 0 cm-2 | ||||
Resistividade | tipo p 4H/6H-P | ≤0,1 Ωcm | ≤0,3 Ωcm | ||
tipo n 3C-N | ≤0,8 mΩ·cm | ≤1 m Ωcm | |||
Orientación plana primaria | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Lonxitude plana primaria | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Lonxitude plana secundaria | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientación plana secundaria | Cara de silicona cara arriba: 90° no sentido horario desde a superficie plana Prime ± 5,0° | ||||
Exclusión de bordos | 3 milímetros | 6 milímetros | |||
LTV/TTV/Arco/Deformación | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Rugosidade | Ra ≤1 nm para o pulido | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Gretas nos bordos por luz de alta intensidade | Ningún | Lonxitude acumulada ≤ 10 mm, lonxitude única ≤ 2 mm | |||
Placas hexagonais por luz de alta intensidade | Área acumulada ≤0,05% | Área acumulada ≤0,1% | |||
Áreas politípicas por luz de alta intensidade | Ningún | Área acumulada ≤3% | |||
Inclusións visuais de carbono | Área acumulada ≤0,05% | Área acumulada ≤3% | |||
Rasgaduras na superficie de silicio por luz de alta intensidade | Ningún | Lonxitude acumulada ≤1 × diámetro da oblea | |||
Chips de bordo de alta intensidade por luz | Non se permite ningún ancho e fondo ≥0,2 mm | 5 permitidos, ≤1 mm cada un | |||
Contaminación da superficie do silicio por alta intensidade | Ningún | ||||
Envasado | Casete multi-obleas ou recipiente de oblea única |
Notas:
※ Os límites de defectos aplícanse a toda a superficie da oblea, agás á área de exclusión do bordo. # Os arañazos deben comprobarse na cara de Si
A oblea de SiC de tipo P, 4H/6H-P 3C-N, co seu tamaño de 6 polgadas e 350 μm de grosor, desempeña un papel crucial na produción industrial de electrónica de potencia de alto rendemento. A súa excelente condutividade térmica e a súa alta tensión de ruptura fan que sexa ideal para a fabricación de compoñentes como interruptores de potencia, díodos e transistores que se empregan en contornas de alta temperatura como vehículos eléctricos, redes eléctricas e sistemas de enerxía renovable. A capacidade da oblea para funcionar eficientemente en condicións adversas garante un rendemento fiable en aplicacións industriais que requiren alta densidade de potencia e eficiencia enerxética. Ademais, a súa orientación plana primaria axuda a un aliñamento preciso durante a fabricación do dispositivo, o que mellora a eficiencia da produción e a consistencia do produto.
As vantaxes dos substratos compostos de SiC de tipo N inclúen
- Alta condutividade térmicaAs obleas de SiC de tipo P disipan a calor de forma eficiente, o que as fai ideais para aplicacións de alta temperatura.
- Alta tensión de rupturaCapaz de soportar altas tensións, o que garante a fiabilidade en electrónica de potencia e dispositivos de alta tensión.
- Resistencia a ambientes agresivosExcelente durabilidade en condicións extremas, como altas temperaturas e ambientes corrosivos.
- Conversión de enerxía eficienteO dopado de tipo P facilita un manexo eficiente da enerxía, o que fai que a oblea sexa axeitada para sistemas de conversión de enerxía.
- Orientación plana primariaGarante unha aliñación precisa durante a fabricación, mellorando a precisión e a consistencia do dispositivo.
- Estrutura fina (350 μm)O grosor óptimo da oblea permite a integración en dispositivos electrónicos avanzados con espazo limitado.
En xeral, a oblea de SiC de tipo P, 4H/6H-P 3C-N, ofrece unha serie de vantaxes que a fan moi axeitada para aplicacións industriais e electrónicas. A súa alta condutividade térmica e tensión de ruptura permiten un funcionamento fiable en ambientes de alta temperatura e alta tensión, mentres que a súa resistencia a condicións adversas garante a súa durabilidade. O dopado de tipo P permite unha conversión de enerxía eficiente, o que a fai ideal para electrónica de potencia e sistemas enerxéticos. Ademais, a orientación plana primaria da oblea garante unha aliñación precisa durante o proceso de fabricación, o que mellora a consistencia da produción. Cun grosor de 350 μm, é ideal para a integración en dispositivos compactos e avanzados.
Diagrama detallado

