Oblea de SiC tipo P 4H/6H-P 3C-N 6 polgadas de espesor 350 μm con orientación plana primaria
Especificación4H/6H-P Tipo SiC Substratos compostos Táboa de parámetros comúns
6 Substrato de carburo de silicio (SiC) de diámetro en polgadas Especificación
Grao | Produción de MPD ceroGrao (Z Grao) | Produción estándarGrao (P Grao) | Grao Dummy (D Grao) | ||
Diámetro | 145,5 mm ~ 150,0 mm | ||||
Espesor | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientación de obleas | -Offeixe: 2,0°-4,0° cara a [1120] ± 0,5° para 4H/6H-P, No eixe: 〈111〉± 0,5° para 3C-N | ||||
Densidade de microtubo | 0 cm-2 | ||||
Resistividade | tipo p 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
tipo n 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Orientación primaria de piso | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Lonxitude plana primaria | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Lonxitude plana secundaria | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientación de piso secundario | Silicona cara arriba: 90° CW. de Prime Flat ± 5,0° | ||||
Exclusión de borde | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Bow/Warp | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Rugosidade | Ra≤1 nm polaco | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra ≤ 0,5 nm | ||||
Rachaduras de borde pola luz de alta intensidade | Ningún | Lonxitude acumulada ≤ 10 mm, lonxitude única ≤ 2 mm | |||
Placas hexagonales por luz de alta intensidade | Área acumulada ≤0,05% | Área acumulada ≤0,1% | |||
Zonas politípicas por luz de alta intensidade | Ningún | Área acumulada ≤ 3 % | |||
Inclusións de carbono visual | Área acumulada ≤0,05% | Área acumulada ≤3% | |||
Arañazos na superficie de silicio por luz de alta intensidade | Ningún | Lonxitude acumulada ≤ 1 × diámetro da oblea | |||
Chips de borde de alta intensidade de luz | Non se permite ningún ≥0,2 mm de ancho e profundidade | 5 permitidos, ≤1 mm cada un | |||
Contaminación da superficie de silicio por alta intensidade | Ningún | ||||
Embalaxe | Casete de obleas múltiples ou recipiente de obleas simples |
Notas:
※ Os límites de defectos aplícanse a toda a superficie da oblea, excepto á área de exclusión do bordo. # Os arañazos deben comprobarse na cara Si o
A oblea de SiC tipo P, 4H/6H-P 3C-N, co seu tamaño de 6 polgadas e 350 μm de espesor, xoga un papel crucial na produción industrial de electrónica de potencia de alto rendemento. A súa excelente condutividade térmica e a súa alta tensión de ruptura fan que sexa ideal para a fabricación de compoñentes como interruptores de enerxía, díodos e transistores utilizados en ambientes de alta temperatura como vehículos eléctricos, redes eléctricas e sistemas de enerxía renovable. A capacidade da oblea para operar de forma eficiente en condicións duras garante un rendemento fiable en aplicacións industriais que requiren alta densidade de enerxía e eficiencia enerxética. Ademais, a súa orientación plana principal axuda ao aliñamento preciso durante a fabricación do dispositivo, mellorando a eficiencia da produción e a consistencia do produto.
As vantaxes dos substratos compostos de SiC de tipo N inclúen
- Alta condutividade térmica: As obleas de SiC tipo P disipan a calor de forma eficiente, polo que son idóneas para aplicacións a altas temperaturas.
- Alta tensión de avaría: Capaz de soportar altas tensións, garantindo a fiabilidade en electrónica de potencia e dispositivos de alta tensión.
- Resistencia a ambientes duros: Excelente durabilidade en condicións extremas, como altas temperaturas e ambientes corrosivos.
- Conversión de enerxía eficiente: O dopaxe tipo P facilita un manexo eficiente da potencia, facendo que a oblea sexa apta para sistemas de conversión de enerxía.
- Orientación primaria de piso: Asegura un aliñamento preciso durante a fabricación, mellorando a precisión e consistencia do dispositivo.
- Estrutura fina (350 μm): O grosor óptimo da oblea permite a integración en dispositivos electrónicos avanzados e con espazo limitado.
En xeral, a oblea de SiC tipo P, 4H/6H-P 3C-N, ofrece unha serie de vantaxes que a fan moi adecuada para aplicacións industriais e electrónicas. A súa alta condutividade térmica e tensión de avaría permiten un funcionamento fiable en ambientes de alta temperatura e alta tensión, mentres que a súa resistencia ás duras condicións garante a durabilidade. O dopaxe tipo P permite unha conversión de enerxía eficiente, polo que é ideal para sistemas de enerxía e electrónicos de potencia. Ademais, a orientación plana principal da oblea garante un aliñamento preciso durante o proceso de fabricación, mellorando a consistencia da produción. Cun espesor de 350 μm, é moi axeitado para a integración en dispositivos avanzados e compactos.