Tipo p 4H/6H-P 3C-N TIPO SIC substrato 4 polgadas 〈111〉± 0,5°Zero MPD
4H/6H-P Tipo SiC Substratos compostos Táboa de parámetros comúns
4 silicio de diámetro en polgadasSubstrato de carburo (SiC). Especificación
Grao | Produción de MPD cero Grao (Z Grao) | Produción estándar Grao (P Grao) | Grao Dummy (D Grao) | ||
Diámetro | 99,5 mm~100,0 mm | ||||
Espesor | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientación de obleas | Fóra do eixe: 2,0°-4,0° cara a [1120] ± 0,5° para 4H/6H-P, OEixe n:〈111〉± 0,5° para 3C-N | ||||
Densidade de microtubo | 0 cm-2 | ||||
Resistividade | tipo p 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
tipo n 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Orientación primaria de piso | 4H/6H-P | - {1010} ± 5,0° | |||
3C-N | - {110} ± 5,0° | ||||
Lonxitude plana primaria | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Lonxitude plana secundaria | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientación de piso secundario | Silicona cara arriba: 90° CW. de Prime flat±5,0° | ||||
Exclusión de borde | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Bow/Warp | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Rugosidade | Ra≤1 nm polaco | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra ≤ 0,5 nm | ||||
Rachaduras de borde pola luz de alta intensidade | Ningún | Lonxitude acumulada ≤ 10 mm, lonxitude única ≤ 2 mm | |||
Placas hexagonales por luz de alta intensidade | Área acumulada ≤0,05% | Área acumulada ≤0,1% | |||
Zonas politípicas por luz de alta intensidade | Ningún | Área acumulada ≤ 3 % | |||
Inclusións de carbono visual | Área acumulada ≤0,05% | Área acumulada ≤3% | |||
Arañazos na superficie de silicio por luz de alta intensidade | Ningún | Lonxitude acumulada ≤ 1 × diámetro da oblea | |||
Chips de borde de alta intensidade de luz | Non se permite ningún ≥0,2 mm de ancho e profundidade | 5 permitidos, ≤1 mm cada un | |||
Contaminación da superficie de silicio por alta intensidade | Ningún | ||||
Embalaxe | Casete de obleas múltiples ou recipiente de obleas simples |
Notas:
※Os límites de defectos aplícanse a toda a superficie da oblea, excepto á zona de exclusión do bordo. # Os arañazos deben comprobarse só na cara Si.
O substrato SiC tipo P 4H/6H-P 3C-N de 4 polgadas con orientación 〈111〉± 0,5° e grao cero MPD úsase amplamente en aplicacións electrónicas de alto rendemento. A súa excelente condutividade térmica e a súa alta tensión de ruptura fan que sexa ideal para a electrónica de potencia, como interruptores de alta tensión, inversores e conversores de potencia, que operan en condicións extremas. Ademais, a resistencia do substrato ás altas temperaturas e á corrosión garante un rendemento estable en ambientes duros. A orientación precisa 〈111〉± 0,5° mellora a precisión de fabricación, polo que é adecuada para dispositivos de RF e aplicacións de alta frecuencia, como sistemas de radar e equipos de comunicación sen fíos.
As vantaxes dos substratos compostos de SiC de tipo N inclúen:
1. Alta condutividade térmica: disipación de calor eficiente, polo que é adecuada para ambientes de alta temperatura e aplicacións de alta potencia.
2. Alta tensión de avaría: garante un rendemento fiable en aplicacións de alta tensión como conversores e inversores de enerxía.
3. Grao MPD (Micro Pipe Defect) cero: garante defectos mínimos, proporcionando estabilidade e alta fiabilidade en dispositivos electrónicos críticos.
4. Resistencia á corrosión: duradeiro en ambientes duros, garantindo unha funcionalidade a longo prazo en condicións esixentes.
5. Orientación precisa 〈111〉± 0,5°: Permite un aliñamento preciso durante a fabricación, mellorando o rendemento do dispositivo en aplicacións de alta frecuencia e RF.
En xeral, o substrato SiC tipo P 4H/6H-P 3C-N de 4 polgadas con orientación 〈111〉± 0,5° e grao MPD cero é un material de alto rendemento ideal para aplicacións electrónicas avanzadas. A súa excelente condutividade térmica e a súa alta tensión de avaría fan que sexa perfecto para produtos electrónicos de potencia como interruptores de alta tensión, inversores e conversores. O grao Zero MPD garante defectos mínimos, proporcionando fiabilidade e estabilidade en dispositivos críticos. Ademais, a resistencia do substrato á corrosión e ás altas temperaturas garante a durabilidade en ambientes duros. A orientación precisa de 〈111〉± 0,5° permite un aliñamento preciso durante a fabricación, polo que é moi adecuado para dispositivos de RF e aplicacións de alta frecuencia.