Substrato SIC TIPO P 4H/6H-P 3C-N 4 polgadas 〈111〉± 0,5°Cero MPD
Táboa de parámetros comúns de substratos compostos de SiC tipo 4H/6H-P
4 silicio de diámetro en polgadasSubstrato de carburo (SiC) Especificación
Grao | Produción cero de MPD Grao (Z) Grao) | Produción estándar Grao (P Grao) | Grao de simulación (D Grao) | ||
Diámetro | 99,5 mm~100,0 mm | ||||
Espesor | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientación da oblea | Fóra do eixe: 2,0°-4,0° cara a [1120] ± 0,5° para 4H/6H-P, Oeixe n: 〈111〉± 0,5° para 3C-N | ||||
Densidade de microtubos | 0 cm-2 | ||||
Resistividade | tipo p 4H/6H-P | ≤0,1 Ωcm | ≤0,3 Ωcm | ||
tipo n 3C-N | ≤0,8 mΩ·cm | ≤1 m Ωcm | |||
Orientación plana primaria | 4H/6H-P | - {1010} ± 5,0° | |||
3C-N | - {110} ± 5,0° | ||||
Lonxitude plana primaria | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Lonxitude plana secundaria | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientación plana secundaria | Cara de silicona cara arriba: 90° no sentido horario desde o plano Prime±5,0° | ||||
Exclusión de bordos | 3 milímetros | 6 milímetros | |||
LTV/TTV/Arco/Deformación | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Rugosidade | Ra ≤1 nm para o pulido | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Gretas nos bordos por luz de alta intensidade | Ningún | Lonxitude acumulada ≤ 10 mm, lonxitude única ≤ 2 mm | |||
Placas hexagonais por luz de alta intensidade | Área acumulada ≤0,05% | Área acumulada ≤0,1% | |||
Áreas politípicas por luz de alta intensidade | Ningún | Área acumulada ≤3% | |||
Inclusións visuais de carbono | Área acumulada ≤0,05% | Área acumulada ≤3% | |||
Rasgaduras na superficie de silicio por luz de alta intensidade | Ningún | Lonxitude acumulada ≤1 × diámetro da oblea | |||
Chips de bordo de alta intensidade por luz | Non se permite ningún ancho e fondo ≥0,2 mm | 5 permitidos, ≤1 mm cada un | |||
Contaminación da superficie do silicio por alta intensidade | Ningún | ||||
Envasado | Casete multi-obleas ou recipiente de oblea única |
Notas:
※Os límites de defectos aplícanse a toda a superficie da oblea, agás á área de exclusión do bordo. # Os arañazos deben comprobarse só na cara de Si.
O substrato de SiC de 4 polgadas tipo P 4H/6H-P 3C-N con orientación 〈111〉± 0,5° e grao MPD cero úsase amplamente en aplicacións electrónicas de alto rendemento. A súa excelente condutividade térmica e a súa alta tensión de ruptura fan que sexa ideal para electrónica de potencia, como interruptores de alta tensión, inversores e convertidores de potencia, que funcionan en condicións extremas. Ademais, a resistencia do substrato ás altas temperaturas e á corrosión garante un rendemento estable en ambientes agresivos. A orientación precisa 〈111〉± 0,5° mellora a precisión da fabricación, o que o fai axeitado para dispositivos de RF e aplicacións de alta frecuencia, como sistemas de radar e equipos de comunicación sen fíos.
As vantaxes dos substratos compostos de SiC de tipo N inclúen:
1. Alta condutividade térmica: disipación eficiente da calor, o que o fai axeitado para ambientes de alta temperatura e aplicacións de alta potencia.
2. Alta tensión de ruptura: garante un rendemento fiable en aplicacións de alta tensión como convertidores de potencia e inversores.
3. Grao MPD (microdefectos de tubaxes) cero: garante defectos mínimos, o que proporciona estabilidade e alta fiabilidade en dispositivos electrónicos críticos.
4. Resistencia á corrosión: Duradeiro en ambientes agresivos, o que garante unha funcionalidade a longo prazo en condicións esixentes.
5. Orientación precisa de 〈111〉± 0,5°: permite unha aliñación precisa durante a fabricación, o que mellora o rendemento do dispositivo en aplicacións de alta frecuencia e RF.
En xeral, o substrato de SiC de 4 polgadas tipo P 4H/6H-P 3C-N con orientación 〈111〉± 0,5° e grao Zero MPD é un material de alto rendemento ideal para aplicacións electrónicas avanzadas. A súa excelente condutividade térmica e a súa alta tensión de ruptura fan que sexa perfecto para electrónica de potencia como interruptores de alta tensión, inversores e convertidores. O grao Zero MPD garante defectos mínimos, o que proporciona fiabilidade e estabilidade en dispositivos críticos. Ademais, a resistencia do substrato á corrosión e ás altas temperaturas garante a durabilidade en ambientes agresivos. A orientación precisa 〈111〉± 0,5° permite unha aliñación precisa durante a fabricación, o que o fai moi axeitado para dispositivos de RF e aplicacións de alta frecuencia.
Diagrama detallado

