O substrato de carburo de silicio divídese en tipo semi-illante e tipo condutor. Na actualidade, a especificación principal dos produtos de substrato de carburo de silicio semi-illado é de 4 polgadas. No mercado de carburo de silicio condutor, a especificación actual do substrato principal é de 6 polgadas.
Debido ás aplicacións posteriores no campo de RF, os substratos de SiC semi-illados e os materiais epitaxiais están suxeitos ao control das exportacións do Departamento de Comercio dos Estados Unidos. O SiC semiillado como substrato é o material preferido para a heteroepitaxia de GaN e ten importantes perspectivas de aplicación no campo das microondas. En comparación co desaxuste de cristais do 14% de zafiro e do 16,9% de Si, o desaxuste de cristais dos materiais SiC e GaN é só do 3,4%. Xunto coa condutividade térmica ultra alta de SiC, os dispositivos de microondas de alta frecuencia e alta potencia GaN e LED de alta eficiencia enerxética preparados por el teñen grandes vantaxes en radares, equipos de microondas de alta potencia e sistemas de comunicación 5G.
A investigación e desenvolvemento de substrato de SiC semi-illado sempre foi o foco da investigación e desenvolvemento de substrato de cristal único SiC. Hai dúas dificultades principais no cultivo de materiais de SiC semi-illados:
1) Reducir as impurezas do doador de N introducidas polo crisol de grafito, a adsorción de illamento térmico e o dopaxe en po;
2) Mentres se garante a calidade e as propiedades eléctricas do cristal, introdúcese un centro de nivel profundo para compensar as impurezas residuais de nivel superficial coa actividade eléctrica.
Actualmente, os fabricantes con capacidade de produción de SiC semi-illadas son principalmente SICC Co, Semisic Crystal Co, Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
O cristal condutor de SiC conséguese inxectando nitróxeno na atmosfera en crecemento. O substrato condutor de carburo de silicio utilízase principalmente na fabricación de dispositivos de potencia, dispositivos de potencia de carburo de silicio con alta tensión, alta corrente, alta temperatura, alta frecuencia, baixas perdas e outras vantaxes únicas, mellorarán moito o uso existente de enerxía de dispositivos de potencia baseados en silicio. eficiencia de conversión, ten un impacto significativo e de gran alcance no campo da conversión eficiente de enerxía. As principais áreas de aplicación son os vehículos eléctricos/pilas de carga, as novas enerxías fotovoltaicas, o tránsito ferroviario, as redes intelixentes, etc. Debido a que os produtos condutores son principalmente dispositivos de enerxía en vehículos eléctricos, fotovoltaicos e outros campos, a perspectiva de aplicación é máis ampla e os fabricantes son máis numerosos.
Tipo de cristal de carburo de silicio: a estrutura típica do mellor carburo de silicio cristalino 4H pódese dividir en dúas categorías, unha é o tipo de cristal de carburo de silicio cúbico de estrutura de esfalerita, coñecida como 3C-SiC ou β-SiC, e a outra é a hexagonal. ou estrutura de diamante da estrutura de gran período, que é típica de 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC, etc., coñecidas colectivamente como α-SiC. 3C-SiC ten a vantaxe dunha alta resistividade nos dispositivos de fabricación. Non obstante, o alto desaxuste entre as constantes da rede de Si e SiC e os coeficientes de expansión térmica poden provocar un gran número de defectos na capa epitaxial 3C-SiC. O 4H-SiC ten un gran potencial na fabricación de MOSFET, porque o seu crecemento de cristal e os procesos de crecemento da capa epitaxial son máis excelentes e, en termos de mobilidade electrónica, o 4H-SiC é superior ao 3C-SiC e o 6H-SiC, proporcionando mellores características de microondas para 4H. - MOSFET SiC.
Se hai infracción, póñase en contacto con eliminar
Hora de publicación: 16-Xul-2024