Obleas de cuarzo fundido de alta pureza para aplicacións de semicondutores, fotónica e óptica de 2″4″6″8″12″

Descrición curta:

Cuarzo fundido—tamén coñecido comoSílice fundida—é a forma non cristalina (amorfa) do dióxido de silicio (SiO₂). A diferenza do borosilicato ou outros vidro industriais, o cuarzo fundido non contén dopantes nin aditivos, polo que ofrece unha composición quimicamente pura de SiO₂. É coñecido pola súa excepcional transmisión óptica a través dos espectros ultravioleta (UV) e infravermello (IR), superando os materiais de vidro tradicionais.

Envíanos un correo electrónico

Características

Diagrama detallado

Obleas de sílice fundida e vidro de cuarzo óptico-2

oblea_de_cuarzo_fusionado_oblea_de_sílice_fusionada_de_4_polgadas

Visión xeral do vidro de cuarzo

As obleas de cuarzo constitúen a columna vertebral de innumerables dispositivos modernos que impulsan o mundo dixital actual. Desde a navegación no teu teléfono intelixente ata a columna vertebral das estacións base 5G, o cuarzo ofrece silenciosamente a estabilidade, a pureza e a precisión requiridas na electrónica e a fotónica de alto rendemento. Xa sexa para soportar circuítos flexibles, habilitar sensores MEMS ou formar a base da computación cuántica, as características únicas do cuarzo fan que sexa indispensable en todas as industrias.

"Sílice fundida" ou "cuarzo fundido", que é a fase amorfa do cuarzo (SiO2). En contraste co vidro de borosilicato, a sílice fundida non ten aditivos; polo tanto, existe na súa forma pura, SiO2. A sílice fundida ten unha maior transmisión no espectro infravermello e ultravioleta en comparación co vidro normal. A sílice fundida prodúcese fundindo e resolidificando SiO2 ultrapuro. A sílice fundida sintética, pola súa banda, está feita a partir de precursores químicos ricos en silicio, como o SiCl4, que se gasifican e logo se oxidan nunha atmosfera de H2 + O2. O po de SiO2 formado neste caso fúndese en sílice sobre un substrato. Os bloques de sílice fundida córtanse en obleas, despois das cales as obleas se pulen finalmente.

Obleas de sílice fundida e vidro de cuarzo óptico

Principais características e vantaxes da oblea de vidro de cuarzo

Pureza ultraalta (≥99,99 % de SiO2)
Ideal para procesos fotónicos e de semicondutores ultralimpos onde se debe minimizar a contaminación dos materiais.
Amplo rango de funcionamento térmico
Mantén a integridade estrutural desde temperaturas crioxénicas ata máis de 1100 °C sen deformacións nin degradacións.
Excelente transmisión UV e IR
Ofrece unha excelente claridade óptica desde o ultravioleta profundo (DUV) ata o infravermello próximo (NIR), o que permite aplicacións ópticas de precisión.
Baixo coeficiente de expansión térmica
Mellora a estabilidade dimensional baixo flutuacións de temperatura, reducindo a tensión e mellorando a fiabilidade do proceso.
Resistencia química superior
Inerte á maioría dos ácidos, álcalis e solventes, o que o fai axeitado para ambientes quimicamente agresivos.
Flexibilidade do acabado superficial
Dispoñible con acabados pulidos ultrasuaves, dunha ou dúas caras, compatibles cos requisitos de fotónica e MEMS.

Proceso de fabricación de obleas de vidro de cuarzo

As obleas de cuarzo fundido prodúcense mediante unha serie de pasos controlados e precisos:

Selección de materias primas
Selección de fontes de cuarzo natural de alta pureza ou SiO₂ sintético.
Fusión e fusión
O cuarzo fúndese a ~2000 °C en fornos eléctricos baixo atmosfera controlada para eliminar inclusións e burbullas.
Formación de bloques
A sílice fundida arrefríase en bloques ou lingotes sólidos.
Corte de obleas
Para cortar os lingotes en bruto de oblea úsanse serras de precisión de diamante ou de fío.
Pulido e lapeado
Ambas as superficies están aplanadas e pulidas para cumprir coas especificacións ópticas, de grosor e rugosidade exactas.
Limpeza e inspección
As obleas límpanse en salas brancas da clase ISO 100/1000 e sométense a unha rigorosa inspección para detectar defectos e conformidade dimensional.

Propiedades da oblea de vidro de cuarzo

especificación	unidade	4"	6"	8"	10"	12"
Diámetro / tamaño (ou cadrado)	mm	100	150	200	250	300
Tolerancia (±)	mm	0,2	0,2	0,2	0,2	0,2
Espesor	mm	0,10 ou máis	0,30 ou máis	0,40 ou máis	0,50 ou máis	0,50 ou máis
Plano de referencia principal	mm	32,5	57,5	Semi-encolado	Semi-encolado	Semi-encolado
LTV (5 mm × 5 mm)	μm	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5
TVG	μm	< 2	< 3	< 3	< 5	< 5
Arco	μm	±20	±30	±40	±40	±40
Deformación	μm	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
PLTV (5 mm × 5 mm) < 0,4 μm	%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%
Redondeo de bordos	mm	Cumpre coa norma SEMI M1.2 / consulte IEC62276
Tipo de superficie		Pulido por un só lado / Pulido por dous lados
Lado pulido Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Criterios do reverso	μm	xeral 0,2-0,7 ou personalizado

Cuarzo vs. outros materiais transparentes

Propiedade	Vidro de cuarzo	Vidro de borosilicato	Zafiro	Vidro estándar
Temperatura máxima de funcionamento	~1100 °C	~500 °C	~2000 °C	~200 °C
Transmisión UV	Excelente (JGS1)	Pobre	Bo	Moi pobre
Resistencia química	Excelente	Moderado	Excelente	Pobre
Pureza	Extremadamente alto	Baixa a moderada	Alto	Baixo
Expansión térmica	Moi baixo	Moderado	Baixo	Alto
Custo	Moderado a alto	Baixo	Alto	Moi baixo

Preguntas frecuentes sobre a oblea de vidro de cuarzo

P1: Cal é a diferenza entre o cuarzo fundido e a sílice fundida?
Aínda que ambos son formas amorfas de SiO₂, o cuarzo fundido normalmente provén de fontes naturais de cuarzo, mentres que a sílice fundida prodúcese sinteticamente. Funcionalmente, ofrecen un rendemento similar, pero a sílice fundida pode ter unha pureza e homoxeneidade lixeiramente maiores.

P2: Pódense usar obleas de cuarzo fundido en ambientes de alto baleiro?
Si. Debido ás súas baixas propiedades de desgasificación e á súa alta resistencia térmica, as obleas de cuarzo fundido son excelentes para sistemas de baleiro e aplicacións aeroespaciais.

P3: Son estas obleas axeitadas para aplicacións láser UV profundo?
Absolutamente. O cuarzo fundido ten unha alta transmitancia de ata ~185 nm, o que o fai ideal para óptica DUV, máscaras de litografía e sistemas láser excímeros.

P4: Admiten a fabricación de obleas personalizadas?
Si. Ofrecemos personalización completa, incluíndo diámetro, grosor, calidade da superficie, planos/entallas e deseño con láser, segundo os requisitos específicos da súa aplicación.

Sobre nós

XKH especialízase no desenvolvemento, produción e venda de alta tecnoloxía de vidro óptico especial e novos materiais de cristal. Os nosos produtos utilízanse para electrónica óptica, electrónica de consumo e o ámbito militar. Ofrecemos compoñentes ópticos de zafiro, cubertas para lentes de teléfonos móbiles, cerámica, LT, carburo de silicio SIC, cuarzo e obleas de cristal semicondutor. Con experiencia cualificada e equipos de vangarda, destacamos no procesamento de produtos non estándar, co obxectivo de ser unha empresa líder en materiais optoelectrónicos de alta tecnoloxía.

Substrato de zafiro cru de alta pureza en branco para oblea de zafiro para procesamento 5