Efector final de cerámica de alúmina de alto rendemento (brazo de forquilla) para automatización de semicondutores e salas brancas

Descrición curta:

O efector final cerámico de alúmina, tamén coñecido como brazo de forquita cerámica ou man robótica cerámica, é un compoñente de manipulación de alta precisión deseñado para sistemas automatizados en entornos de semicondutores, fotovoltaicos, pantallas e laboratorios de alta pureza. Está deseñado para proporcionar unha estabilidade térmica, rixidez mecánica e resistencia química excepcionais, ofrecendo un transporte limpo, fiable e seguro de materiais sensibles como obleas de silicio, substratos de vidro e microcompoñentes electrónicos.

Envíanos un correo electrónico

Características

Diagrama detallado

Introdución do produto

Como tipo de efector final robótico, este compoñente cerámico é a interface final entre o sistema de automatización e a peza de traballo. Desempeña un papel fundamental nas tarefas de transferencia de precisión, aliñamento, carga/descarga e posicionamento en salas limpas e ambientes de baleiro.

brazo-cerámico-para-accionamento-de-obleas-de-semicondutores-G13

brazo-cerámico-para-accionamento-de-obleas-de-semicondutores-G10

brazo-cerámico-para-accionamento-de-obleas-de-semicondutores-G07

Visión xeral do material: cerámica de alúmina (Al₂O₃)

A cerámica de alúmina é un material cerámico técnico moi estable e quimicamente inerte, coñecido polas súas excelentes propiedades mecánicas e eléctricas. A alúmina de alta pureza (≥ 99,5 %) empregada nestes efectores finais garante:

Alta dureza (Mohs 9)En segundo lugar despois do diamante, a alúmina ofrece unha resistencia extrema ao desgaste.
capacidade de alta temperaturaMantén a integridade estrutural por riba dos 1600 °C.
Inercia químicaResistente a ácidos, álcalis, solventes e ambientes de gravado con plasma.
illamento eléctricoCon alta rixidez dieléctrica e baixa perda dieléctrica.
baixa expansión térmicaGarante a estabilidade dimensional en ambientes de ciclos térmicos.
baixa xeración de partículasEsencial para a compatibilidade con salas brancas (Clase 10 a Clase 1000).

Estas características fan que a cerámica de alúmina sexa ideal para operacións de misión crítica en industrias sensibles á contaminación.

Aplicacións funcionais

O efector final cerámico de alúmina adóptase amplamente en procesos industriais de alta tecnoloxía, especialmente onde os materiais metálicos ou plásticos tradicionais decaen debido a problemas de expansión térmica, contaminación ou corrosión. Os principais campos de aplicación inclúen:

Transferencia de obleas de semicondutores
Sistemas de carga e descarga de fotolitografía
Manexo de substratos de vidro en liñas OLED e LCD
Transferencia de obleas de silicio cristalino na produción de células solares
Inspección óptica ou microelectrónica automatizada
Transporte de mostras en laboratorios analíticos ou biomédicos
Sistemas de automatización de ambientes de baleiro

A súa capacidade para funcionar sen introducir partículas ou carga estática faino indispensable para operacións robóticas precisas na automatización de salas limpas.

Características de deseño e personalización

Cada efector final cerámico está deseñado para adaptarse a un brazo robótico ou sistema de manipulación de obleas específico. Admitimos a personalización completa baseada en:

Compatibilidade do tamaño da oblea2", 4", 6", 8", 12" e máis
Xeometría e espazado das ranurasAdaptase a deseños de agarre de bordo, soporte lateral traseiro ou obleas con muescas
Portos de succiónOrificios ou canles de aspiración integrados para manipulación sen contacto
Configuración de montaxeBuratos, roscas e ranuras adaptadas á brida da ferramenta final do robot
tratamento de superficiesAcabado pulido, lapeado ou esmerilado fino (Ra < 0,2 µm dispoñible)
Protección de bordosEsquinas redondeadas ou biselado para evitar danos na oblea

Mediante debuxos CAD ou modelos 3D proporcionados polos clientes, os nosos enxeñeiros poden optimizar cada brazo de forquilla en canto a peso, resistencia e limpeza.

gl_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Vantaxes dos efectores terminais cerámicos

Característica	Beneficio
Alta rixidez mecánica	Mantén a precisión dimensional baixo forzas de carga robóticas
Excelente rendemento térmico	Funciona de forma fiable en ambientes de alta temperatura ou plasma
Contaminación cero por metais	Sen risco de contaminación por ións no procesamento crítico de semicondutores
Superficie de baixa fricción	Reduce o risco de rabuñaduras en substratos de obleas ou vidro
Antiestático e non magnético	Non atrae o po nin afecta os compoñentes sensibles aos magnetismos
Longa vida útil	Resistencia superior ao desgaste en ciclos de automatización repetitivos de alta velocidade
Compatibilidade ultralimpa	Apto para salas brancas ISO 14644 (clase 100 e inferior)

En comparación cos brazos de plástico ou aluminio, a cerámica de alúmina ofrece unha estabilidade química e física drasticamente mellorada con requisitos de mantemento mínimos.

Propiedade	Brazo metálico	Brazo de plástico	Brazo de cerámica de alúmina
Dureza	Moderado	Baixo	Moi alto (Mohs 9)
Estabilidade térmica	≤ 500 °C	≤ 150 °C	≥ 1600 °C
Resistencia química	Moderado	Pobre	Excelente
Idoneidade para salas brancas	Medio	Baixo	Moi alto
Resistencia ao desgaste	Medio	Baixo	Destacado
Rixidez dieléctrica	Baixo	Medio	Alto
Mecanizado de precisión personalizado	Limitada	Moderado	Alto (±0,01 mm posible)

Especificacións técnicas

Parámetro	Valor
Material	Alúmina de alta pureza (≥ 99,5 %)
Temperatura de traballo	Ata 1600 °C
Rugosidade da superficie	Ra ≤ 0,2 µm (opcional)
Tamaños de obleas compatibles	De 2" a 12" ou personalizado
Tolerancia de planitude	±0,01 mm (dependendo da aplicación)
Soporte de succión ao baleiro	Canles opcionais e personalizables
Opcións de montaxe	Parafuso pasante, brida, orificios ranurados

Preguntas frecuentes (FAQ)

P1: Pódese integrar o efector final en sistemas robóticos existentes?
A1:Si. Admitimos a personalización baseada na súa interface robótica. Pode enviarnos un debuxo CAD ou as dimensións das bridas para unha adaptación precisa.

P2: Os brazos de cerámica romperánse facilmente durante o uso?
A2:Aínda que a cerámica é fráxil por natureza, os nosos deseños empregan unha xeometría optimizada para minimizar a concentración de tensións. En condicións de uso axeitadas, ofrecen unha vida útil significativamente maior que a do metal ou o plástico.

P3: É posible usar isto en cámaras de gravado de ultraalto baleiro ou plasma?
A3:Si. A cerámica de alúmina non desprende gases, é termicamente estable e resistente á corrosión, o que a converte nunha solución perfectamente axeitada para ambientes de alto baleiro, gas reactivo ou plasma.

P4: Como se limpan ou manteñen estes compoñentes?
A4:Pódense limpar con auga desionizada, alcol ou deterxentes compatibles con salas limpas. Non requiren ningún mantemento especial debido á súa estabilidade química e á súa superficie inerte.

Sobre nós

XKH especialízase no desenvolvemento, produción e venda de alta tecnoloxía de vidro óptico especial e novos materiais de cristal. Os nosos produtos utilízanse para electrónica óptica, electrónica de consumo e o ámbito militar. Ofrecemos compoñentes ópticos de zafiro, cubertas para lentes de teléfonos móbiles, cerámica, LT, carburo de silicio SIC, cuarzo e obleas de cristal semicondutor. Con experiencia cualificada e equipos de vangarda, destacamos no procesamento de produtos non estándar, co obxectivo de ser unha empresa líder en materiais optoelectrónicos de alta tecnoloxía.