Dia300x1.0mmt Espesor Sapphire Wafer C-Plane SSP/DSP
Introdución da caixa de obleas
Materiais Cristais | 99.999% de Al2O3, de alta pureza, monocristalino, Al2O3 | |||
Calidade cristalina | Non existen inclusións, marcas de bloque, xemelgos, cor, microburbullas e centros de dispersión. | |||
Diámetro | 2 polgadas | 3 polgadas | 4 polgadas | 6 polgadas ~ 12 polgadas |
50,8 ± 0,1 mm | 76,2 ± 0,2 mm | 100 ± 0,3 mm | De acordo coas disposicións da produción estándar | |
Espesor | 430 ± 15 µm | 550 ± 15 µm | 650 ± 20 µm | Pode ser personalizado polo cliente |
Orientación | Plano C (0001) a plano M (1-100) ou plano A (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, plano R (1-1 0 2), plano A (1 1-2 0 ), Plano M (1-1 0 0 ), Calquera orientación , Calquera ángulo | |||
Lonxitude plana primaria | 16,0 ± 1 mm | 22,0 ± 1,0 mm | 32,5 ± 1,5 mm | De acordo coas disposicións da produción estándar |
Orientación plana primaria | Plano A (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
TTV | ≤ 10 µm | ≤ 15 µm | ≤ 20 µm | ≤ 30 µm |
LTV | ≤ 10 µm | ≤ 15 µm | ≤ 20 µm | ≤ 30 µm |
TIR | ≤ 10 µm | ≤ 15 µm | ≤ 20 µm | ≤ 30 µm |
PROA | ≤ 10 µm | ≤ 15 µm | ≤ 20 µm | ≤ 30 µm |
Deformación | ≤ 10 µm | ≤ 15 µm | ≤ 20 µm | ≤ 30 µm |
Superficie frontal | Epi-pulido (Ra < 0,2 nm) |
*Arco: a desviación do punto central da superficie media dunha oblea libre e sen suxeición do plano de referencia, onde o plano de referencia está definido polas tres esquinas dun triángulo equilátero.
*Warp: A diferenza entre as distancias máximas e mínimas da superficie media dunha oblea libre e sen suxeición do plano de referencia definido anteriormente.
Produtos e servizos de alta calidade para dispositivos semicondutores de próxima xeración e crecemento epitaxial:
Alto grao de planitude (TTV controlado, arco, urdimbre, etc.)
Limpeza de alta calidade (baixa contaminación de partículas, baixa contaminación de metais)
Perforación, ranurado, corte e pulido do substrato
Anexo de datos como a limpeza e a forma do substrato (opcional)
Se necesitas substratos de zafiro, póñase en contacto:
correo:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Volveremos contigo canto antes!