Oblea de grao de produción de 8 polgadas SiC 4H-N substrato SiC

Oblea de grao de produción SiC de 8 polgadas Substrato de SiC 4H-N Imaxe destacada

Breve descrición:

Os substratos SiC de 8 polgadas utilízanse en dispositivos electrónicos de alta potencia, como os MOSFET de potencia (transistores de efecto de campo de semicondutores de óxido metálico), díodos Schottky e outros dispositivos semicondutores de potencia.

Envíanos un correo electrónico

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

A seguinte táboa mostra as especificacións das nosas obleas SiC de 8 polgadas:

Especificacións de DSP SiC tipo N de 8 polgadas
Número	Elemento	Unidade	Produción	Investigación	Maniquí
1: parámetros
1.1	politipo	--	4H	4H	4H
1.2	orientación superficial	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: Parámetro eléctrico
2.1	dopante	--	Nitróxeno tipo n	Nitróxeno tipo n	Nitróxeno tipo n
2.2	resistividade	ohm · cm	0,015~0,025	0,01 ~ 0,03	NA
3: Parámetro mecánico
3.1	diámetro	mm	200 ± 0,2	200 ± 0,2	200 ± 0,2
3.2	espesor	μm	500 ± 25	500 ± 25	500 ± 25
3.3	Orientación da muesca	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Profundidade da muesca	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	μm	≤5 (10mm*10mm)	≤5 (10mm*10mm)	≤10 (10mm*10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Proa	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Deformación	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0,2	Ra≤0,2	Ra≤0,2
4: Estrutura
4.1	densidade de microtubos	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	contido de metal	átomos/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤ 2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5.Calidade frontal
5.1	fronte	--	Si	Si	Si
5.2	acabado superficial	--	CMP Si-face	CMP Si-face	CMP Si-face
5.3	partícula	ea/oblea	≤ 100 (tamaño ≥ 0,3 μm)	NA	NA
5.4	rascar	ea/oblea	≤5,Lonxitude total ≤200mm	NA	NA
5.5	Borde lascas / sangrías / fisuras / manchas / contaminación	--	Ningún	Ningún	NA
5.6	Áreas politípicas	--	Ningún	Área ≤ 10 %	Área ≤ 30 %
5.7	sinalización frontal	--	Ningún	Ningún	Ningún
6: calidade traseira
6.1	acabado traseiro	--	MP cara C	MP cara C	MP cara C
6.2	rascar	mm	NA	NA	NA
6.3	Borde de defectos traseiros fichas/sangrías	--	Ningún	Ningún	NA
6.4	Rugosidade nas costas	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Marcación traseira	--	Muesca	Muesca	Muesca
7: borde
7.1	bordo	--	Chaflán	Chaflán	Chaflán
8: Paquete
8.1	embalaxe	--	Epi-ready con baleiro embalaxe	Epi-ready con baleiro embalaxe	Epi-ready con baleiro embalaxe
8.2	embalaxe	--	Multi-oblea embalaxe de casete	Multi-oblea embalaxe de casete	Multi-oblea embalaxe de casete