Oblea de niobato de litio de 8 polgadas LiNbO3 LN
Información detallada
Diámetro | 200 ± 0,2 mm |
planitude importante | 57,5 mm, muesca |
Orientación | Corte en Y 128, corte en X, corte en Z |
Espesor | 0,5 ± 0,025 mm, 1,0 ± 0,025 mm |
Superficie | DSP e SSP |
TVG | < 5 µm |
ARCO | ± (20 µm ~40 µm) |
Deformación | <= 20 µm ~ 50 µm |
LTV (5 mm x 5 mm) | <1,5 µm |
PLTV (<0,5 µm) | ≥98% (5 mm * 5 mm) con bordo de 2 mm excluído |
Ra | Ra<=5A |
Raspa e escava (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 |
Bordo | Coñece SEMI M1.2@ con GC800#. normal no tipo C |
Especificacións específicas
Diámetro: 8 polgadas (aproximadamente 200 mm)
Grosor: Os grosores estándar habituais oscilan entre 0,5 mm e 1 mm. Outros grosores pódense personalizar segundo os requisitos específicos
Orientación do cristal: A principal orientación común do cristal é a de corte en Y 128, corte en Z e corte en X, e pódese proporcionar outra orientación do cristal dependendo da aplicación específica.
Vantaxes de tamaño: as obleas de carpa serrata de 8 polgadas teñen varias vantaxes de tamaño sobre as obleas máis pequenas:
Maior área: en comparación coas obleas de 6 ou 4 polgadas, as obleas de 8 polgadas proporcionan unha maior superficie e poden albergar máis dispositivos e circuítos integrados, o que resulta nunha maior eficiencia de produción e rendemento.
Maior densidade: ao usar obleas de 8 polgadas, pódense realizar máis dispositivos e compoñentes na mesma área, o que aumenta a integración e a densidade dos dispositivos, o que á súa vez mellora o rendemento dos dispositivos.
Mellor consistencia: as obleas máis grandes teñen unha mellor consistencia no proceso de produción, o que axuda a reducir a variabilidade no proceso de fabricación e a mellorar a fiabilidade e a consistencia do produto.
As obleas L e LN de 8 polgadas teñen o mesmo diámetro que as obleas de silicio convencionais e son fáciles de unir. Como material de "filtro SAW articulado" de alto rendemento que pode manexar bandas de alta frecuencia.
Diagrama detallado



