Modelo de AlN de 50,8 mm/100 mm en NPSS/FSS Modelo de AlN en zafiro
AlN-Sobre-Zafiro
O AlN sobre zafiro pódese empregar para fabricar diversos dispositivos fotoeléctricos, como por exemplo:
1. Chips LED: Os chips LED adoitan estar feitos de películas de nitruro de aluminio e outros materiais. A eficiencia e a estabilidade dos LED poden mellorarse empregando obleas de AlN sobre zafiro como substrato dos chips LED.
2. Láseres: as obleas de AlN sobre zafiro tamén se poden empregar como substratos para láseres, que se empregan habitualmente en medicina, comunicacións e procesamento de materiais.
3. Células solares: A fabricación de células solares require o uso de materiais como o nitruro de aluminio. O AlN sobre zafiro como substrato pode mellorar a eficiencia e a vida útil das células solares.
4. Outros dispositivos optoelectrónicos: as obleas de AlN sobre zafiro tamén se poden empregar para fabricar fotodetectores, dispositivos optoelectrónicos e outros dispositivos optoelectrónicos.
En conclusión, as obleas de AlN sobre zafiro úsanse amplamente no campo optoeléctrico debido á súa alta condutividade térmica, alta estabilidade química, baixas perdas e excelentes propiedades ópticas.
Modelo de AlN de 50,8 mm/100 mm en NPSS/FSS
| Elemento | Observacións | |||
| Descrición | Modelo de AlN sobre NPSS | Modelo AlN-on-FSS | ||
| Diámetro da oblea | 50,8 mm, 100 mm | |||
| Substrato | NPSS do plano c | Zafiro planar do plano c (FSS) | ||
| Espesor do substrato | 50,8 mm, zafiro planar de plano c de 100 mm (FSS), 100 mm: 650 um | |||
| Grosor da epicapa de AIN | 3~4 µm (obxectivo: 3,3 µm) | |||
| Condutividade | Illante | |||
| Superficie | A medida que medraba | |||
| RMS <1 nm | RMS <2 nm | |||
| Parte traseira | Moído | |||
| FWHM(002)XRC | < 150 segundos de arco | < 150 segundos de arco | ||
| FWHM(102)XRC | < 300 segundos de arco | < 300 segundos de arco | ||
| Exclusión de bordos | < 2 mm | < 3 mm | ||
| Orientación plana primaria | plano a+0,1° | |||
| Lonxitude plana primaria | 50,8 mm: 16 +/-1 mm 100 mm: 30 +/-1 mm | |||
| Paquete | Empaquetado en caixa de envío ou en envase dunha soa oblea | |||
Diagrama detallado






