Oblea LNOI de película monocristal de niobato de litio de 4 polgadas e 6 polgadas
O proceso de preparación dos materiais LNOI divídese principalmente nos seguintes catro pasos
(1) Os ións He foron inxectados no material de niobato de litio cortado en X cunha determinada enerxía e introducidos na capa de defectos a unha certa profundidade por debaixo da capa superficial de niobato de litio;
(2) O material de niobato de litio implantado con ión está unido a un substrato de silicio cunha capa de óxido para formar unha estrutura de enlace;
(3) A estrutura de enlace foi recozida para facer evolucionar e agregar os defectos introducidos pola implantación de ións He para formar gretas. Finalmente, o niobato de litio separouse ao longo da capa de defectos para formar as franxas de niobato de litio residuais e as obleas LNOI.
Aplicacións e vantaxes da oblea LNOI
1--As películas piezoeléctricas de niobato de litio (LNOI) teñen un alto coeficiente piezoeléctrico e unha constante dieléctrica, que poden converter a enerxía mecánica en enerxía eléctrica ou a enerxía eléctrica en enerxía mecánica. Polo tanto, é amplamente utilizado no campo dos sensores, como sensores de presión, sensores de aceleración, sensores de temperatura, etc. Ademais, a película piezoeléctrica de niobato de litio tamén se pode usar en dispositivos acústicos e dispositivos de vibración, como o filtro cerámico piezoeléctrico de transdutor cerámico piezoeléctrico complexo.
2-A estabilidade da película piezoeléctrica de niobato de litio tamén é unha das súas vantaxes. Debido á súa estabilidade da estrutura cristalina e á súa inercia química, a película piezoeléctrica de niobato de litio pode funcionar a altas temperaturas, alta humidade, ácidos fortes, álcalis fortes e outros ambientes duros, cunha boa resistencia á corrosión e durabilidade.
A película piezoeléctrica de niobato de litio 3 é un novo material piezoeléctrico cun excelente rendemento e estabilidade, e ten unha ampla perspectiva de aplicación. Co desenvolvemento continuo da ciencia e da tecnoloxía, a película piezoeléctrica de niobato de litio aplicarase en máis cidades, aportando máis comodidade e innovación á vida das persoas.