Oblea LNOI de película monocristalina de niobato de litio de 4 polgadas e 6 polgadas
O proceso de preparación dos materiais LNOI divídese principalmente nos seguintes catro pasos
(1) Inxectáronse ións He no material de niobato de litio cortado en X a unha determinada enerxía e introducíronse na capa defectuosa a unha determinada profundidade por debaixo da capa superficial de niobato de litio;
(2) O material de niobato de litio implantado con ións únese a un substrato de silicio cunha capa de óxido para formar unha estrutura de unión;
(3) A estrutura de unión foi recocida para facer que os defectos introducidos pola implantación de ións He evolucionasen e se agregasen para formar gretas. Finalmente, o niobato de litio separouse ao longo da capa de defectos para formar as láminas de niobato de litio residuais e as obleas de LNOI.
Aplicacións e vantaxes da oblea LNOI
1--As películas piezoeléctricas de niobato de litio (LNOI) teñen un coeficiente piezoeléctrico e unha constante dieléctrica elevados, o que permite converter a enerxía mecánica en enerxía eléctrica ou a enerxía eléctrica en enerxía mecánica. Polo tanto, úsanse amplamente no campo dos sensores, como sensores de presión, sensores de aceleración, sensores de temperatura, etc. Ademais, a película piezoeléctrica de niobato de litio tamén se pode usar en dispositivos acústicos e dispositivos de vibración, como o filtro cerámico piezoeléctrico complexo de transdutores cerámicos piezoeléctricos.
2-A estabilidade da película piezoeléctrica de niobato de litio tamén é unha das súas vantaxes. Debido á súa estabilidade na estrutura cristalina e á súa inercia química, a película piezoeléctrica de niobato de litio pode funcionar a altas temperaturas, alta humidade, ácidos fortes, álcalis fortes e outros ambientes agresivos, con boa resistencia á corrosión e durabilidade.
A película piezoeléctrica de niobato de litio 3 é un novo material piezoeléctrico con excelente rendemento e estabilidade, e ten unha ampla perspectiva de aplicación. Co desenvolvemento continuo da ciencia e a tecnoloxía, a película piezoeléctrica de niobato de litio aplicarase en máis cidades, o que achegará máis comodidade e innovación á vida das persoas.
Diagrama detallado
