4H-N/6H-N SiC Wafer Reasearch produción de grado simulado Dia150mm substrato de carburo de silicio
Especificación do substrato de carburo de silicio (SiC) de 6 polgadas de diámetro
Grao | MPD cero | Produción | Grao de Investigación | Grao Dummy |
Diámetro | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
Espesor | 4H-N | 350 um ± 25 um | ||
4H-SI | 500 um ± 25 um | |||
Orientación de obleas | No eixe: <0001>±0,5° para 4H-SI | |||
Piso Primario | {10-10}±5,0° | |||
Lonxitude plana primaria | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
Exclusión de borde | 3 mm | |||
TTV/Bow/Warp | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Densidade de microtubo | ≤ 1 cm-2 | ≤5 cm-2 | ≤15 cm-2 | ≤50 cm-2 |
Resistividade 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Rugosidade | Ra polaco ≤ 1 nm CMP Ra ≤ 0,5 nm | |||
#Griduras por luz de alta intensidad | Ningún | 1 permitido, ≤2 mm | Lonxitude acumulada ≤ 10 mm, lonxitude única ≤ 2 mm | |
*Placas hexagonales por luz de alta intensidade | Área acumulada ≤ 1 % | Área acumulada ≤ 2 % | Área acumulada ≤ 5 % | |
*Áreas politipo por luz de alta intensidade | Ningún | Área acumulada ≤ 2 % | Área acumulada ≤ 5 % | |
*&Raiaduras pola luz de alta intensidade | 3 arañazos a 1 x lonxitude acumulada de diámetro da oblea | 5 arañazos a 1 x lonxitude acumulada de diámetro da oblea | 5 arañazos a 1 x lonxitude acumulada de diámetro da oblea | |
Chip de borde | Ningún | 3 permitidos, ≤0,5 mm cada un | 5 permitidos, ≤ 1 mm cada un | |
Contaminación por luz de alta intensidade | Ningún
|
Vendas e Atención ao Cliente
Compra de materiais
O departamento de compras de materiais é o responsable de reunir todas as materias primas necesarias para producir o seu produto. A rastrexabilidade completa de todos os produtos e materiais, incluída a análise química e física está sempre dispoñible.
Calidade
Durante e despois da fabricación ou mecanizado dos seus produtos, o departamento de control de calidade está implicado para asegurarse de que todos os materiais e tolerancias cumpran ou superen as súas especificacións.
Servizo
Estamos orgullosos de contar con persoal de enxeñería de vendas con máis de 5 anos de experiencia na industria de semicondutores. Están adestrados para responder preguntas técnicas, así como para proporcionar cotizacións oportunas para as súas necesidades.
estamos ao teu lado en calquera momento cando teñas un problema e resolvémolo en 10 horas.
Diagrama detallado

