Substrato de carburo de silicio de 150 mm de diámetro para produción de obleas de SiC 4H-N/6H-N
Especificación do substrato de carburo de silicio (SiC) de 6 polgadas de diámetro
Grao | Cero MPD | Produción | Grao de investigación | Grao de simulación |
Diámetro | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
Espesor | 4H-N | 350 µm ± 25 µm | ||
4H-SI | 500 µm ± 25 µm | |||
Orientación da oblea | No eixo: <0001>±0,5° para 4H-SI | |||
Piso principal | {10-10}±5,0° | |||
Lonxitude plana primaria | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
Exclusión de bordos | 3 mm | |||
TTV/Arco/Deformación | ≤15 µm/≤40 µm/≤60 µm | |||
Densidade de microtubos | ≤1 cm-2 | ≤5 cm-2 | ≤15 cm-2 | ≤50 cm-2 |
Resistividade 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028 Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Rugosidade | Ra de pulido ≤1nm CMP Ra≤0.5nm | |||
#Fendas por luz de alta intensidade | Ningún | 1 permitido, ≤2 mm | Lonxitude acumulada ≤10 mm, lonxitude única ≤2 mm | |
*Placas hexagonais por luz de alta intensidade | Área acumulada ≤1% | Área acumulada ≤ 2% | Área acumulada ≤ 5% | |
*Áreas politipadas por luz de alta intensidade | Ningún | Área acumulada ≤ 2% | Área acumulada ≤ 5% | |
*&Rasguños por luz de alta intensidade | 3 arañazos a 1 x diámetro da oblea lonxitude acumulada | 5 arañazos a 1 x diámetro da oblea lonxitude acumulada | 5 arañazos a 1 x diámetro da oblea lonxitude acumulada | |
Chip de bordo | Ningún | 3 permitidos, ≤0,5 mm cada un | 5 permitidos, ≤1 mm cada un | |
Contaminación por luz de alta intensidade | Ningún
|
Vendas e atención ao cliente
Compra de materiais
O departamento de compras de materiais é o responsable de reunir todas as materias primas necesarias para producir o teu produto. Sempre está dispoñible a trazabilidade completa de todos os produtos e materiais, incluíndo análises químicas e físicas.
Calidade
Durante e despois da fabricación ou mecanizado dos seus produtos, o departamento de control de calidade encárgase de garantir que todos os materiais e tolerancias cumpran ou superen as súas especificacións.
Servizo
Orgullámonos de ter persoal de enxeñaría de vendas con máis de 5 anos de experiencia na industria dos semicondutores. Están adestrados para responder a preguntas técnicas, así como para proporcionar orzamentos puntuais para as súas necesidades.
Estamos ao teu lado en calquera momento cando teñas un problema e resolvémolo en 10 horas.
Diagrama detallado

