4H-N/6H-N SiC Wafer Reasearch produción de grado simulado Dia150mm substrato de carburo de silicio
Especificación do substrato de carburo de silicio (SiC) de 6 polgadas de diámetro
Grao | MPD cero | Produción | Grao de Investigación | Grao Dummy |
Diámetro | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
Espesor | 4H-N | 350 um ± 25 um | ||
4H-SI | 500 um ± 25 um | |||
Orientación de obleas | No eixe: <0001>±0,5° para 4H-SI | |||
Piso Primario | {10-10}±5,0° | |||
Lonxitude plana primaria | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
Exclusión de borde | 3 mm | |||
TTV/Bow/Warp | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Densidade de microtubo | ≤ 1 cm-2 | ≤5 cm-2 | ≤15 cm-2 | ≤50 cm-2 |
Resistividade 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Rugosidade | Ra polaco ≤ 1 nm CMP Ra ≤ 0,5 nm | |||
#Griduras por luz de alta intensidad | Ningún | 1 permitido, ≤2 mm | Lonxitude acumulada ≤ 10 mm, lonxitude única ≤ 2 mm | |
*Placas hexagonales por luz de alta intensidade | Área acumulada ≤ 1 % | Área acumulada ≤ 2 % | Área acumulada ≤ 5 % | |
*Áreas politipo por luz de alta intensidade | Ningún | Área acumulada ≤ 2 % | Área acumulada ≤ 5 % | |
*&Raiaduras pola luz de alta intensidade | 3 arañazos a 1 x lonxitude acumulada de diámetro da oblea | 5 arañazos a 1 x lonxitude acumulada de diámetro da oblea | 5 arañazos a 1 x lonxitude acumulada de diámetro da oblea | |
Chip de borde | Ningún | 3 permitidos, ≤0,5 mm cada un | 5 permitidos, ≤ 1 mm cada un | |
Contaminación por luz de alta intensidade | Ningún
|
Vendas e Atención ao Cliente
Compra de materiais
O departamento de compras de materiais é o responsable de reunir todas as materias primas necesarias para producir o seu produto. Sempre está dispoñible a trazabilidade completa de todos os produtos e materiais, incluída a análise química e física.
Calidade
Durante e despois da fabricación ou mecanizado dos seus produtos, o departamento de control de calidade está implicado para asegurarse de que todos os materiais e tolerancias cumpran ou superen as súas especificacións.
Servizo
Estamos orgullosos de contar con persoal de enxeñería de vendas con máis de 5 anos de experiencia na industria de semicondutores. Están adestrados para responder preguntas técnicas e proporcionar cotizacións oportunas para as súas necesidades.
estamos ao teu lado en calquera momento cando teñas un problema e resolvémolo en 10 horas.